书籍:《炬丰科技-半导体工艺》
文章:大面积氮化镓单晶和纳米线生长的新方法
编号:JFKJ-21-242
作者:炬丰科技
介绍
每天有数十亿个晶体管被生产出来,其中95%以上是由硅制成的。硅因其易于获得、稳定的绝缘氧化物、易于p型和n型掺杂而在这一领域表现突出。
氮化镓(GaN)
氮化镓(GaN)是一种III-V族化合物半导体,直接带隙为3.4 eV(对应365 nm波长)。它在光电子以及高温、高功率电子领域都是一种极具吸引力的材料。 GaN可以与AlN和InN在0.7 eV到6.2 eV的连续组合范围内进行合金化,这对于生产任何特定的波长发射器都是至关重要的。 氮化镓的独特性能与其晶体结构密切相关。
Crystal结构
Epitaxial增长 略