《炬丰科技-半导体工艺》Marangoni干燥过程中的表面结构

最新推荐文章于 2024-09-13 16:27:15 发布

hlkn2020

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文章标签：算法

本文链接：https://blog.csdn.net/hlkn2020/article/details/120158156

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研究揭示了在薄膜干燥过程中，由于基材热导率差异和供热不均导致的Marangoni不稳定性，形成了表面结构。通过分析透明流体表面的点阵图案折射图像，提出了一种光学测量技术来观察这些结构。实验使用了以甲醇为溶剂的PVAc聚合物溶液，并发现该技术与机械测量结果一致。未来的工作将侧重于定量评估和CFD模拟，以深入理解表面张力和粘度对溶剂含量的依赖性。

摘要由CSDN通过智能技术生成

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》

文章：Marangoni干燥过程中的表面结构

编号：JFKJ-21-448

作者：炬丰科技

介绍

对于薄涂层产品，表面均匀性是一个重要的质量特性，例如对于 LCD 箔或偏振箔，要求表面粗糙度偏差小于 1 µm。基材的不同热导率（例如用不同材料修复）或干燥器中不均匀的供热或空气流动会导致干燥聚合物溶液中的横向温度梯度，从而导致不同的干燥速率，从而导致横向溶剂浓度梯度。新出现的表面张力梯度是界面动态不稳定性（称为 Marangoni 不稳定性）的驱动力，导致薄膜表面的各种结构。为了抑制无意的表面结构的出现。

实验装置

在薄膜干燥过程中观察表面结构外观的测量技术是基于对 Moisy、Rabaud 和 Salsac [1] 所示的透明流体表面的点阵图案折射图像的分析。测量技术的示意图如图 1 所示。垂直于胶片上方的 CCD 相机用于在干燥过程中拍摄图像序列。