《炬丰科技-半导体工艺》电磁能源辅助湿化学蚀刻开发用于微机电系统的石英晶体

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》
文章：电磁能源辅助湿化学蚀刻开发用于微机电系统的石英晶体
编号：JFKJ-21-1309
作者：华林科纳

本文介绍创建的激光蚀刻过程的一些倒置台面谐振器。频率范围从3.5MHz到11,2MHz，代表了在各种设备中使用的典型谐振器频率，通过改变石英谐振器支架，可以进行进一步的改进。
对谐振器支架系统的改进将消除在运行过程中发生的大量损失，使用一个商业设计的支架系统可以消除巨大的损失，讨论由激光蚀刻系统产生的倒置台面谐振器的下一个频率范围约为8MHz。图A7显示了一个8MHz的晶体谐振器，对应的振动厚度为207pm。

较厚的衬底使石英晶体的强度更强，并允许更容易安装，谐振器的最终频率在11mhz范围内，接下来的两个图将显示石英晶体在11mhz下的灵敏度。

图Bl显示了850nm的LED波长输出，其带宽比激光器要宽得多，其变化范围约为3nm。然而，这种LED的最高强度变化约为30纳米，使用led的商业应用程序需要非常小的功率输出，本研究中使用的led通常用于电视遥控器，使用功率计测量了850nmLED的功率输出，用于测量LED功率输出的功率。在本研究中，LED为电压偏置，以保持100mA的电流流动。在100mA时，输出功率约为60mW。红外LED可以偏置，使其有更多的电流通过二极管，以增加功率输出。然而，较大的电流流量超出了建议的范围。
这项工作研究了用白炽灯蚀刻石英晶体，实验分别用150、500瓦和1000瓦白炽灯进行。用150瓦的白炽灯进行了两次实验。第一个实验只使用了150W的光，第二个实验还使用了一个红外滤光片来阻挡可见光，白炽灯的主要问题是，它们通常只发出光的10%的能量。白炽灯比激光二极管损失更多的能量，由于灯泡体积大，使用激光二极管代替白炽灯更容易大批量生产。尽管使用白炽灯可以增加石英晶体的蚀刻率，但在工业中使用这些灯泡并没有实际意义。