半导体物理－晶体＜１＞

在晶体物理学中，晶体结构和性质的研究对材料科学、半导体物理等领域具有重要意义。要理解晶体的几何特性，必须掌握晶向、晶面、晶体族等相关概念。以下是详细介绍：

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1. 晶体的基本概念

1.1 晶体与晶格

• 晶体：由粒子（原子、离子或分子）按照某种规则周期性排列而成的固体。
• 晶格：描述晶体中点阵（原子或离子位置）排列的数学模型。晶格是一个三维的空间周期性结构。
• 晶胞：晶格中具有代表性的一组最小重复单元。晶体可以看作由无数晶胞通过平移操作填满整个空间。

1.2 晶系

晶体分为七种晶系，分别是三斜、单斜、正交、四方、六方、立方和菱方晶系。每种晶系的对称性、轴和角度关系不同。

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2. 晶向与晶面

2.1 晶向（Crystallographic Direction）

• 晶向是指晶胞中一条直线的方向，通常用笛卡尔坐标系表示。
• 晶向由平行于该直线的矢量来描述，用方括号 [uvw] 表示，其中 u, v, w 是整数，表示该矢量沿晶胞基矢量方向的分量。
• 例如，在立方晶格中：
  • [100] 表示沿 X 轴方向的晶向。
  • [110] 表示 X 和 Y 轴分量相等的晶向。
  • [111] 表示 X、Y 和 Z 分量相等的晶向。

注意：

• [uvw] 表示单个晶向。
• <uvw> 表示晶向族，即所有对称等价的晶向。例如，在立方晶系中，[100]、[010]、[001] 都属于 <100> 晶向族。

2.2 晶面（Crystallographic Plane）

• 晶面是指晶体内部的一组平面，通常由与它们垂直的方向来定义。
• 晶面用米勒指数 (Miller Indices) 表示，记作 (hkl)，其中 h, k, l 是整数，表示该平面与晶胞基矢量的倒数关系。
• 米勒指数的定义：
  1. 确定该平面与晶胞基矢量的截距（假设截距分别为 a/h, b/k, c/l）。
  2. 取倒数后化为整数，即 (hkl)。
  3. 如果平面平行于某一轴（无截距），对应的米勒指数为 0。

例如：

• (100) 表示平行于 YZ 面的晶面。
• (110) 表示平行于晶胞对角线的晶面。
• (111) 表示通过晶胞空间对角线方向的晶面。

注意：

• (hkl) 表示单个晶面。
• {hkl} 表示晶面族，即所有对称等价的晶面。例如，在立方晶系中，(100)、(010) 和 (001) 都属于 {100} 晶面族。

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3. 晶向与晶面的关系

• 晶向 [uvw] 与晶面 (hkl) 的关系由 点积 决定：
  [
  h \cdot u + k \cdot v + l \cdot w = 0
  ]
  这表明晶向与晶面是垂直的。
• 在立方晶系中，晶向 [uvw] 通常与晶面 (uvw) 垂直。例如：
  • [100] 垂直于 (100) 晶面。
  • [110] 垂直于 (110) 晶面。

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4. 晶面族与晶向族

• 晶面族 {hkl}：
  • 一组具有相同对称性的等价晶面。
  • 在立方晶系中，晶面族 {100} 包括 (100)、(010)、(001) 等。
• 晶向族 <uvw>：
  • 一组具有相同对称性的等价晶向。
  • 在立方晶系中，晶向族 <100> 包括 [100]、[010]、[001] 等。

这些族的概念反映了晶体的对称性。

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5. 特定晶面族与方向的物理意义

5.1 {100} 面族

• {100} 是立方晶系的基本晶面，方向垂直于晶胞的边。
• 在半导体材料（如硅晶体）中，{100} 面是常用的晶面，因为该晶面性能均匀，适合制造集成电路。

5.2 {110} 面族

• {110} 是晶体中密排方向最明显的晶面族之一。
• 它的原子密度通常较高，常用于材料表征和加工。

5.3 {111} 面族

• {111} 是立方晶系中密排最明显的晶面族，能量最低，原子排列最紧密。
• {111} 面常在晶体生长中形成，是许多晶体的自然断裂面或滑移面。

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6. 晶体的对称性

晶体的性质与其对称性密切相关。晶体的空间对称性包括以下方面：

1. 平移对称性：晶格的周期性。
2. 旋转对称性：晶体绕某一轴旋转一定角度后与原图形完全相同。常见对称性包括 2 倍、3 倍、4 倍、6 倍旋转对称性。
3. 镜像对称性：晶体通过某一平面反射后与原图形完全相同。
4. 点群和空间群：
   • 点群：描述晶体在原点附近的对称操作。
   • 空间群：点群 + 平移操作，描述晶体的空间对称性。

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7. 实际应用

7.1 半导体晶体生长

• 单晶硅晶圆的表面晶面通常为 {100} 或 {111}，因为这些晶面具有低表面能，适合切割和加工。

7.2 材料断裂

• 晶体断裂通常沿密排晶面（如 {111} 面）发生，因为这些晶面原子最紧密，键能较小。

7.3 晶向在机械性能中的作用

• 金属、陶瓷和其他晶体材料的弹性、塑性和滑移行为与晶向密切相关。例如，滑移系在 {111} 面中更容易发生。

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总结

晶体的晶向、晶面和晶体族是理解晶体几何结构和物理性质的关键概念。通过这些概念，可以描述晶体的对称性、晶体生长方向、裂纹扩展行为等。对于实际应用，晶向和晶面在半导体制造、材料加工和晶体表征中具有重要意义。