2022.11.4 微纳制造技术

光刻——》图案化——》精细，可重复，大面积

转移到半导体层，在半导体层上构筑各种各样的电极，进行连接，构筑各种各样的电路，这就涉及到刻蚀连接，能否把光刻的完美图案，刻蚀在半导体上

基本的内容

等离子体刻蚀：纯粹的physical etch 和 Phisical & Chemistry  etch

等离子体是物质的第四个状态（除去气液固）

 等离子体是离化状态的气体，它被完全离化了，电子已经脱离了原子核，在整个气态里面，带正电的离子

 整体是电中性，体系里的energ是非常高的，具有高度反应活性

我们加一个负电场，就会吸引带正电荷的离子，我们就可以通过电场来操控等离子体，离子的数量就会等于电子的数量

最大的等离子体源就是太阳，太阳不断发生核聚变，氢的同位素就是离化态，人类的终极能源就是核聚变，因为核聚变是一个完全清洁的能源，不会生成放射性的原子，核聚变不会产生放射性，氕氘氚，海洋里面都可以提取

核聚变如何产生？

用强烈的磁场来约束把等离子体约束在环形的线圈里面，来产生核聚变，核聚变距离实际应用有一定距离，裂变可以通过控制中子释放来满足，

 注入的能量要和产出的能量达到平衡，这样子就会有收益

如果核聚变可以实现，人类的永续发展就有了非常大的保障，只有在掌握了核聚变的技术，我们用人类掌握能量的水平来衡量人类的文明

我们如果能够掌握行星的能量就是一级能量，恒星就是二级，星系就是三级

这些就是很重要的意义

对气体进行离化，我们就可以操控电子，用电子去轰击气体电子还有分子，整体来说呈现电中性，一个是中性的原子，另一个是带负电荷的电子，还有就是带正电荷的电荷

等离子体是如何产生的

 一般是发光的，很漂亮的紫色光可以射出来，产生并且维持住等离子体

l离化的particle 占据总体的比例

太阳的核心，离化率是百分之一百

平均自由程的定义：在气体里面，它的分子是不断的被碰到的，所以这一点解释了为什么在超真空情况下，容易产生等离子体，但是Chamble里的气压越高，代表了n越大，平均自由程就越小，几乎就是和汽气压成反比的，电子未获得足够高的能量就已经损失掉了，所以我们需要超真空，超真空的作用是降低density，降低平均自由程

能量最低的态，我们称之为基态，离子获得能量以后会跃迁到激发态，但是上去以后，在激发态会有一定的寿命，很容易跳下来，回到基态，回到基态的工程中会释放出能量，所以会有基态和激发态的概念，通过跃迁会产生光，

RIE就是反应离子刻蚀