科勒照明详解

1. 光源不均匀性的本质

光源(如灯丝或LED芯片)通常存在局部亮度差异(如中心亮、边缘暗)。直接成像时,这种不均匀性会直接映射到样品平面,导致照明不均。


2. 科勒照明的关键步骤

(1) 准直:将光源发散光转换为平行光
  • 聚光镜前组作用:光源位于聚光镜前组的焦平面附近,光线经聚光镜前组准直,形成近似平行的光束。

  • 效果:光源每个点的空间位置被转换为不同的光线角度(如图1所示)。
    例如:光源中心点发出的光被准直为垂直光轴的光线,边缘点则形成倾斜光线。

(2) 聚焦:平行光重新会聚到样品平面
  • 聚光镜后组作用:准直后的平行光经聚光镜后组聚焦到样品平面。

  • 效果:每个角度的光线(对应光源不同位置)在样品平面叠加,覆盖整个视场(如图2所示)。
    例如:光源左侧点的光线聚焦到样品右侧区域,右侧点的光线聚焦到左侧区域,通过叠加抵消局部亮度差异。


3. 均匀化的数学原理

  • 角度-空间映射
    光源的空间分布 �(�,�)I(x,y) 被转换为角度分布 �(��,��)I(θx​,θy​),而样品平面的照度 �(�′,�′)E(x′,y′) 是所有角度的积分:

    �(�′,�′)=∫�(��,��) ������E(x′,y′)=∫I(θx​,θy​)dθx​dθy​

    由于不同角度的光线来自光源不同位置,积分后空间不均匀性被平滑。

  • 傅里叶变换角色
    样品平面是光源的“傅里叶平面”(角度域),而物镜入瞳是光源的像平面(空间域)。通过分离空间与角度信息,光源的局部不均匀性被分散到整个视场。


4. 光阑的关键作用

  • 孔径光阑(控制NA):位于聚光镜前焦面,限制最大照明角度,匹配物镜NA。

  • 视场光阑(控制区域):位于样品平面,确保只有目标区域被照明,避免杂散光干扰。


5. 实例验证

假设光源中心有一个亮斑(图3a):

  1. 准直后:亮斑对应特定角度的光线(如垂直方向)。

  2. 聚焦到样品平面:该角度的光线覆盖整个视场(图3b),而非集中在某一点。

  3. 多角度叠加:所有光源点的光线共同照明每个样品点,最终照度趋于均匀(图3c)。


6. 对比直接成像照明

  • 临界照明:光源直接成像到样品平面,导致亮度分布完全复制光源不均匀性。

  • 科勒照明:通过角度-空间转换,使每个样品点接收来自整个光源的光,均匀性显著提升。


总结

科勒照明通过以下机制实现均匀化:

  1. 空间-角度分离:光源的不均匀性被分散到不同光线角度。

  2. 角度-空间叠加:所有角度的光线在样品平面叠加,平均局部差异。

  3. 光阑控制:精确限制照明区域和角度范围,优化均匀性。

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