【传感器技术】第9章温度测量，膨胀式温度传感器，热电偶传感器，热电阻传感器，集成温度传感器（山东大学）

上理考研周导师

已于 2024-08-08 21:03:40 修改

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分类专栏：传感器技术文章标签：人工智能传感器

于 2024-08-06 09:34:08 首次发布

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第9章温度测量

9.1、温度概述

1．温度与温标

温度是工业生产和科学实验中一个非常重要的参数。物体的许多物理现象和化学性质都与温度有关。许多生产过程都是在一定的温度范围内进行的, 需要测量温度和控制温度。随着科学技术的发展, 对温度的测量越来越普遍, 而且对温度测量的准确度也有更高的要求。

温度是表征物体冷热程度的物理量。温度不能直接加以测量, 只能借助于冷热不同的物体之间的热交换, 以及物体的某些物理性质随着冷热程度不同而变化的特性间接测量。

为了定量地描述温度的高低, 必须建立温度标尺, 即温标。温标就是温度的数值表示。各种温度计和温度传感器的温度数值均由温标确定。历史上提出过多种温标, 如早期的经验温标（摄氏温标和华氏温标）, 理论上的热力学温标, 当前世界通用的国际温标。热力学温标确定的温度数值为热力学温度（符号为T）, 单位为开尔文（符号为K）, 1 K等于水三相点热力学温度的 1/273.16 。

热力学温度是国际上公认的最基本温度, 国际温标最终以它为准而不断完善。我国目前实行的是1990年国际温标（ITS-90）, 它同时定义国际开尔文温度（符号ITS-90）和国际摄氏温度（t90）, T90和t90之间的关系为

在实际应用中, 一般直接用T和t代替T90和t90。

2．温度测量的主要方法和分类

(1) 温度传感器的组成在工程中无论是简单的还是复杂的测温传感器, 就测量系统的功能而言, 通常由现场的感温元件和控制室的显示装置两部分组成, 如图 8- 1 所示。简单的温度传感器往往是温度传感器和显示组成一体的, 一般在现场使用。

(2) 温度测量方法及分类测量方法按感温元件是否与被测介质接触, 可以分成接触式与非接触式两大类。

接触式测温方法是使温度敏感元件和被测温度对象相接触, 当被测温度与感温元件达到热平衡时, 温度敏感元件与被测温度对象的温度相等。这类温度传感器具有结构简单，工作可靠，精度高，稳定性好，价格低廉等优点。

这类测温方法的温度传感器主要有: 基于物体受热体积膨胀性质的膨胀式温度传感器，基于导体或半导体电阻值随温度变化的电阻式温度传感器，基于热电效应的热电偶温度传感器。

非接触式测温方法是应用物体的热辐射能量随温度的变化而变化的原理。物体辐射能量的大小与温度有关, 并且以电磁波形式向四周辐射, 当选择合适的接收检测装置时, 便可测得被测对象发出的热辐射能量并且转换成可测量和显示的各种信号, 实现温度的测量。

这类测温方法的温度传感器主要有光电高温传感器、红外辐射温度传感器、光纤高温传感器等。非接触式温度传感器理论上不存在热接触式温度传感器的测量滞后和在温度范围上的限制, 可测高温、腐蚀、有毒、运动物体及固体、液体表面的温度, 不干扰被测温度场, 但精度较低, 使用不太方便。

9.2、膨胀式温度传感器

根据液体、固体、气体受热时产生热膨胀的原理, 这类温度传感器有液体膨胀式、固体膨胀式和气体膨胀式。

1．液体膨胀式

在有刻度的细玻璃管里充入液体（称为工作液, 如水银、酒精等）构成液体膨胀式温度计。常用的有水银玻璃温度计和电接点式温度计, 这种温度计远不能算传感器, 它只能就地指示温度。

电接点式温度计可对设定的某一温度发出开关信号或进行位式控制, 有固定式和可调式两种。可调电接点式温度计, 其中一根铂丝接在毛细管下部固定处,另一根铂丝根据设定温度可以上下移动, 当升至设定温度时, 铂丝与水银柱接通, 反之断开, 这种既可指示, 又能发出通断信号, 常用于温度测量和双位控制。

2．固体膨胀式

固体膨胀式是以双金属元件作为温度敏感元件受热而产生膨胀变形来测温的。它由两种线膨胀系数不同的金属紧固结合而成双金属片, 为提高灵敏度常作成螺旋形。

螺旋形双金属片一端固定, 另一端连接指针轴, 当温度变化时, 双金属片弯曲变形, 通过指针轴带动指针偏转显示温度。它常用于测量-80℃～600℃范围的温度, 抗震性能好，读数方便, 但精度不太高, 用于工业过程测温、上下限报警和控制。

3．气体膨胀式

气体膨胀式是利用封闭容器中的气体压力随温度升高而升高的原理来测温的, 利用这种原理测温的温度计又称压力计式温度计, 如图 8- 4 所示。温包、毛细管和弹簧管三者的内腔构成一个封闭容器, 其中充满工作物质（如气体常为氮气）, 工作物质的压力经毛细管传给弹簧管, 使弹簧管产生变形, 并由传动机构带动指针, 指示出被测温度的数值。

压力温度计结构简单、抗振及耐腐蚀性能好, 与微动开关组合可作温度控制器用, 但它的测量距离受毛细管长度限制, 一般充液体可达20m, 充气体或蒸汽可达60m。

9.3、热电偶传感器

热电偶是工程上应用最广泛的温度传感器。它构造简单, 使用方便, 具有较高的准确度、稳定性及复现性, 温度测量范围宽, 在温度测量中占有重要的地位。

1. 热电偶测温原理

两种不同的导体（或半导体）组成一个闭合回路。

导体或半导体的组合称为热电偶。两个接点, 一个称工作端, 又称测量端或热端, 测温时将它置于被测介质中; 另一个称自由端, 又称参考端或冷端。

回路中, 所产生的热电势由两部: 温差电势和接触电势。

接触电势是由于两种不同导体的自由电子密度不同而在接触处形成的电动势。两种导体接触时,自由电子由密度大的导体向密度小的导体扩散, 在接触处失去电子的一侧带正电, 得到电子的一侧带负电, 形成稳定的接触电势。接触电势的数值取决于两种不同导体的性质和接触点的温度。两接点的接触电势EAB(T)和EAB（T0）可表示为

式中: K——波尔兹曼常数; e——单位电荷电量;

NAT、NBT和NAT0、NBT0——分别在温度为T和T0时, 导体A、B的电子密度。

温差电势是同一导体的两端因其温度不同而产生的一种热电势。

同一导体的两端温度不同时, 高温端的电子能量要比低温端的电子能量大, 因而从高温端跑到低温端的电子数比从低温端跑到高温端的要多, 结果高温端因失去电子而带正电, 低温端因获得多余的电子而带负电, 因此, 在导体两端便形成接触电势, 其大小由下面公式给出:

NAT和NBT分别为A导体和B导体的电子密度, 是温度的函数。

热电偶回路中产生的总热电势为

ＥAB(T, T0)=EAB(T)+EB(T, T0)-EAB(T0)-EA(T, T0) (8- 6) 在总热电势中, 同一导体温差电势比接触电势小很多, 可忽略不计, 热电偶的热电势可表示为

EAB(T, T0)=EAB(T)-EAB(T0)

对于已选定的热电偶, 当参考端温度T0恒定时,EAB (T0)=c为常数, 则总的热电动势就只与温度T成单值函数关系, 即EAB(T, T0)=EAB(T)-c=f(T)

热电势与温度之间关系是通过热电偶分度表来确定的。分度表是在参考端温度为0℃时, 通过实验建立起来的热电势与工作端温度之间的数值对应关系。用热电偶测温, 还要掌握热电偶基本定律。

理论上任何两种不同材料的导体都可以组成热电偶, 但准确可靠地测量温度, 要对材料必须经过严格的选择。用于热电偶的材料应满足以下条件: 热电势变化尽量大, 热电势与温度关系尽量接近线性关系, 物理、化学性能稳定, 易加工, 复现性好, 便于成批生产, 有良好的互换性。

目前在国际上被公认比较好的热电材料只有几种。

国际电工委员会（IEC）向世界各国推荐8种标准化热电偶, 所谓标准化热电偶, 它已列入工业标准化文件中, 具有统一的分度表。我国从1988年开始采用IEC标准生产热电偶。下表为我国采用的几种热电偶的主要性能和特点。

表中所列的每一种热电偶中前者为热电偶的正极, 后者为负极。目前工业上常用的有四种标准化热电偶, 即铂铑30--铂铑6, 铂铑10-铂, 镍铬-镍硅和镍铬-铜镍（我国通常称为镍铬-康铜）热电偶, 它的分度表见表 8- 2 至表 8- 5

目前还生产一些特殊用途的热电偶, 以满足特殊测温的需要。如用于测量3800℃超高温的钨镍系列热电偶, 用于测量2~273K的超低温的镍铬-金铁热电偶等。

4. 热电偶的结构形式

热电偶的结构形式:普通型热电偶、铠装型热电偶和薄膜热电偶。

(1)普通型热电偶

普通型结构热电偶工业上使用最多, 它一般由热电极、绝缘套管、保护管和接线盒组成。普通型热电偶按其安装时的连接形式可分为固定螺纹连接、固定法兰连接、活动法兰连接、无固定装置等多种形式。

(2)铠装热电偶铠装热电偶又称套管热电偶。它是由热电偶丝、绝缘材料和金属套管三者经拉伸加工而成的坚实组合体。它可以做得很细很长, 使用中随需要能任意弯曲。铠装热电偶的主要优点是测温端热容量小, 动态响应快, 机械强度高, 挠性好, 可安装在结构复杂的装置上, 因此被广泛用在许多工业部门中。

(3)薄膜热电偶薄膜热电偶是由两种薄膜热电极材料, 用真空蒸镀、化学凃层等办法蒸镀到绝缘基板上面制成的一种特殊热电偶。薄膜热电偶的热接点可以做得很小（可薄到0.01~0.1μm）, 具有热容量小, 反应速度快等的特点, 热相应时间达到微秒级, 适用于微小面积上的表面温度以及快速变化的动态温度测量。

5.热电偶的补偿导线及参考端温度补偿方法

从热电偶测温基本公式可以看到, 对某一种热电偶来说热电偶产生的热电势只与工作端温度t和自由端温度t0有关, 即:

EAB(t, t0)=e AB(t)-eAB(t0) （ 8-13）

热电偶的分度表是以t0=0℃作为基准进行分度的, 而在实际使用过程中, 参考端温度往往不为0℃, 那么工作端温度为t时, 分度表所对应的热电势EAB(t, 0)与热电偶实际产生的热电势EAB(t, t0)之间的关系可根据中间温度定律得到下式:

EAB(t, 0)= EAB(t, t0)+ EAB(t0, 0)

由此可见, EAB(t0, 0)是参考端温度t0的函数, 因此需要对热电偶参考端温度进行处理。

(1)热电偶补偿导线在实际测温时, 需要把热电偶输出的电势信号传输到远离现场数十米的控制室里的显示仪表或控制仪表, 这样参考端温度t0也比较稳定。热电偶一般做得较短需要用导线将热电偶的冷端延伸出来。工程中采用一种补偿导线, 它通常由两种不同性质的廉价金属导线制成, 而且在0~100℃温度范围内, 要求补偿导线和所配热电偶具有相同的热电特性。

常用热电偶的补偿导线列于表 8- 6

(2)参考端温度修正法采用补偿导线可使热电偶的参考端延伸到温度比较稳定的地方, 但只要参考端温度不等于0℃, 需要对热电偶回路的电势值加以修正, 修正值为EAB(t0 , 0)。经修正后的实际热电势, 可由分度表中查出被测实际温度值

(3)参考端0℃恒温法在实验室及精密测量中, 通常把参考端放入装满冰水混合物的容器中, 以便参考端温度保持0℃, 这种方法又称冰浴法。

(4)参考端温度自动补偿法（补偿电桥法）补偿电桥法是利用不平衡电桥产生的不平衡电压作为补偿信号, 来自动补偿热电偶测量过程中因参考端温度不为0℃或变化而引起热电势的变化值。

如图12-11 所示, 不平衡电桥由三个电阻温度系数较小的锰铜丝绕制的电阻r1、 r2 、r3、电阻温度系数较大的铜丝绕制的电阻rCu 和稳压电源组成。

补偿电桥与热电偶参考端处在同一环境温度, 但由于rCu的阻值随环境温度变化而变化, 如果适当选择桥臂电阻和桥路电流, 就可以使电桥产生的不平衡电压Uab补偿由于参考端温度变化引起的热电势EAB(t, t0)变化量, 从而达到自动补偿的目的。

4．热电偶测温线路

热电偶测温时, 它可以直接与显示仪表（如电子电位差计、数字表等）配套使用, 也可与温度变送器配套, 转换成标准电流信号, 图 8- 12 为典型的热电偶测温线路。如用一台显示仪表显示多点温度时, 可按图 8- 13连接, 这样可节约显示仪表和补偿导线。

特殊情况下, 热电偶可以串联或并联使用, 但只能是同一分度号的热电偶, 且参考端应在同一温度下。如热电偶正向串联, 可获得较大的热电势输出和提高灵敏度。在测量两点温差时, 可采用热电偶反向串联。利用热电偶并联可以测量平均温度。热电偶串、并联线路如图 8- 14 所示

9.4．热电阻传感器

热电阻传感器是利用导体或半导体的电阻值随温度变化而变化的原理进行测温的。热电阻传感器分为金属热电阻和半导体热电阻两大类, 一般把金属热电阻称为热电阻, 而把半导体热电阻称为热敏电阻。热电阻广泛用来测量 -200~+850℃范围内的温度, 少数情况下, 低温可测量至1K, 高温达1000℃。标准铂电阻温度计的精确度高, 并作为复现国际温标的标准仪器。热电阻传感器由热电阻、连接导线及显示仪表组成, 如图 8- 15所示。热电阻也可与温度变送器连接, 转换为标准电流信号输出。

1．常用热电阻

用于制造热电阻的材料应具有尽可能大和稳定的电阻温度系数和电阻率, R-t 关系最好成线性, 物理化学性能稳定, 复现性好等。目前最常用的热电阻有铂热电阻和铜热电阻。

(1)铂热电阻铂热电阻的特点是精度高、稳定性好、性能可靠, 所以在温度传感器中得到了广泛应用。按IEC标准, 铂热电阻的使用温度范围为-200~+850℃。

在-200~0℃的温度范围内:

Rt=R0［1+At+Bt2+Ct3(t-100)］ ( 8- 15)

在0~850℃的温度范围内:

Rt = R0(1+At+Bt2)

式中Rt和R0分别为t℃和0℃时铂电阻值; A、 B和C为常数。在ITS-90 中, 这些常数规定为:

A=3.9083×10-3/℃

B=-5.775×10-7/℃2

C=-4.183×10-12/℃4

热电阻在温度t时的电阻值与R0 有关。目前我国规定工业用铂热电阻有R0=10Ω和R0=100Ω两种, 它们的分度号分别为Pt10和Pt100, 其中以Pt100为常用。铂热电阻不同分度号亦有相应分度表, 即Rt-t 的关系表, 这样在实际测量中, 只要测得热电阻的阻值Rt, 便可从分度表上查出对应的温度值。 Pt100的分度表见表 8- 7 。

铂热电阻中的铂丝纯度用电阻比W100表示, 它是铂热电阻在100℃时电阻值R100与0℃时电阻值R0之比。按IEC标准, 工业使用的铂热电阻的W100>1.3850。

(2)铜热电阻由于铂是贵重金属, 因此, 在一些测量精度要求不高且温度较低的场合, 可采用铜热电阻进行测温, 它的测量范围为-50~+150℃。

铜热电阻在测量范围内其电阻值与温度的关系几乎是线性的, 可近似地表示为:

Rt=R0（1+αt）（ 8- 17）

式中α为铜热电阻的电阻温度系数, 取α=4.28×10-3/℃。铜热电组的两种分度号为Cu50(R0=50Ω)和Cu100（R100=100Ω）

铜热电阻线性好, 价格便宜, 但它易氧化, 不适宜在腐蚀性介质或高温下工作。

1.热电阻的结构

工业用热电阻的结构如图 8- 16 所示。它由电阻体、绝缘管、保护套管、引线和接线盒等部分组成。

电阻体由电阻丝和电阻支架组成。电阻丝采用双线无感绕法绕制在具有一定形状的云母、石英或陶瓷塑料支架上, 支架起支撑和绝缘作用, 引出线通常采用直径1mm的银丝或镀银铜丝, 它与接线盒柱相接, 以便与外接线路相连而测量显示温度。用热电阻传感器进行测温时, 测量电路经常采用电桥电路。而热电阻与检测仪表相隔一段距离, 因此热电阻的引线对测量结果有较大的影响。

热电阻内部引线方式有两线制、三线制和四线制三种, 如图 8- 17 所示。二线制中引线电阻对测量影响大, 用于测温精度不高场合。三线制可以减小热电阻与测量仪表之间连接导线的电阻因环境温度变化所引起的测量误差。四线制可以完全消除引线电阻对测量的影响, 用于高精度温度检测。

9.5．集成温度传感器

集成温度传感器是利用晶体管PN结的电流电压特性与温度的关系, 把感温PN结及有关电子线路集成在一个小硅片上, 构成一个小型化、一体化的专用集成电路片。集成温度传感器具有体积小、反应快、线性好、价格低等优点, 由于PN结受耐热性能和特性范围的限制, 它只能用来测150℃以下的温度。

1．基本工作原理

目前在集成温度传感器中, 都采用一对非常匹配的差分对管作为温度敏感元件。图 8-18 是集成温度传感器基本原理图。其中T1和T2是互相匹配的晶体管,I1和I2分别是T1和T2管的集电极电流, 由恒流源提供。T1和T2管的两个发射极和基极电压之差ΔVbe可用下式表示, 即:

式中k-是波尔兹曼常数;

q-是电子电荷量;

T-是绝对温度;

r -是T1和T2管发射结的面积之比。

从式中看出, 如果保证I1/I2恒定, 则ΔVbe就与温度T成单值线性函数关系。这就是集成温度传感器的基本工作原理, 在此基础上可设计出各种不同电路以及不同输出类型的集成温度传感器。

1．集成温度传感器的信号输出方式

(1)电压输出型

电压输出型集成温度传感器原理电路图如图 8- 19 所示。当电流I1恒定时, 通过改变R1的阻值, 可实现I1=I2, 当晶体管的β≥1时, 电路的输出电压可由下式确定, 即:

若取R1=940Ω, R2=30KΩ, r=37, 则电路输出的温度系数为:

（2）电流输出型图 8- 20 为电流输出型集成温度传感器的原理电路图。 T1和T2是结构对称的两个晶体管, 作为恒流源负载, T3和T4管是测温用的晶体管, 其中T3管的发射结面积是T4管的8倍, 即r=8。流过电路的总电流IT为:

式中当R和r一定时, 电路的输出电流与温度有良好的线性关系。

若取R为358Ω, 则电路输出的温度系数为:

电流输出型典型的集成温度传感器有美国AD公司生产的AD590, 我国产的SG590也属于同类型产品。基本电路与图 8- 20一样, 只是增加了一些启动电路, 防止电源反接以及使左右两支路对称的附加电路, 以进一步地提高性能。 AD590的电源电压4~30V, 可测温度范围-50~+150℃。

2． AD590集成温度传感器应用实例

AD590是应用广泛的一种集成温度传感器, 由于它内部有放大电路, 再配上相应外电路,方便地构成各种应用电路。下面介绍AD590几种简单的应用线路。

(1)温度测量电路

AD590在25℃（298.2K）时, 理想输出电流为298.2μA, 但实际上存在一定误差, 可以在外电路中进行修正。将AD590串联一个可调电阻, 在已知温度下调整电阻值, 使输出电压UT满足1mV/k的关系（如25℃时, UT应为298.2mV）。调整好以后, 固定可调电阻, 即可由输出电压VT读出AD590所处的热力学温度。

 (2)控温电路

简单的控温电路如图 8- 22 所示。 AD311为比较器, 它的输出控制加热器电流, 调节R1可改变比较电压, 从而改变了控制温度。AD581是稳压器, 为AD590提供一个合理的稳定电压。