碳化硅紫外二极管是火星任务的关键部件

碳化硅光电二极管对于寻找火星上过去的水影响和过去生命的迹象至关重要

总部位于柏林的 Sglux 公司生产的 SiC 紫外光电二极管已搭载在当前的 NASA 火星 2020 任务中。

用于紫外光电二极管的具有异质结构的 SiC 芯片是在埃尔兰根的 Fraunhofer IISB 在该研究所自己的 CMOS 生产线上进行加工的。 自2021年2月18日火星探测器“毅力号”登陆火星表面以来，碳化硅光电二极管在极端环境条件下一直绝对可靠地运行。

紫外线传感器是 SHERLOC 深紫外拉曼光谱仪的一个组件，美国宇航局使用该光谱仪来寻找火星表面过去生命的痕迹。 Fraunhofer IISB 为中小企业、中型企业和行业提供低门槛的高科技基础设施和半导体技术领域的独特专业知识。

火星上的生命

毅力号拥有一套最先进的科学仪器，其中连接到火星车机械臂的深紫外拉曼光谱仪发挥着特殊作用。 这款高科技仪器被称为 SHERLOC（利用拉曼和发光扫描有机物和化学品的宜居环境），是火星上第一台紫外拉曼光谱仪。 在那里，它能够对地表和近地表下的有机物和矿物质进行非接触式、空间分辨和高灵敏度的检测和表征。

在名为 WATSON（用于操作和工程的广角地形传感器）的特殊相机和紫外线激光的支持下，SHERLOC 可以检测有机物和矿物质，并根据它们创建地形图。 然后地球上的研究人员评估测量结果和矿物学图，看看是否有过去水影响的证据和火星上过去生命的迹象。 在此基础上，将决定毅力号应采集哪些岩石样本并将其密封在火星表面的金属管中，以便将来返回地球（重新采样任务）。

极限耐力测试

紫外拉曼光谱仪使用波长为 248.6 nm 的深紫外激光进行测量，聚焦在直径小于 100 µm 的光斑上。 Sglux 的 SG01XL-5 SiC 紫外宽带光电二极管安装在激光孔径附近，在光谱图测量过程中检测 SHERLOC 发出的紫外辐射功率，以便在扫描表面时监控激光输出。

在使用之前，Sglux 根据其应用调整了该光电二极管的制造工艺，并进行了精心的选择、测试和表征程序。 随后，NASA对这样选出的候选者进行了进一步的测试和试验，例如抗振动性、强加速下的行为、耐高温性和交变强度等。

材料特性

由于其特性，SiC 非常适合日光不敏感的紫外线探测器和恶劣的环境。 基于 SiC 的光电二极管几乎对可见光范围内的光完全不敏感，并且其高响应速度令人印象深刻。 飞安范围内的小暗电流确保了低噪声，因此即使非常低的紫外线辐射强度也可以可靠地测量。

SiC 探测器可承受相对较高的工作温度，并可在 -55 至 +170 °C 的温度范围内稳定运行。 在这种情况下，信号的温度系数达到每开尔文小于 0.1% 的值，并且可以很好地补偿与温度相关的测量灵敏度变化。 此外，SiC具有极高的抗辐射硬度，使得器件即使在长时间、强烈的照射下也能保持其优异的电性能。

Sglux GmbH 董事总经理 Tilman Weiss 评论道：“我们声称，我们的紫外线传感器始终比安装它们的系统的使用寿命更长。迄今为止的火星任务很好地证实了这一事实，也证实了我们与弗劳恩霍夫协会的合作 IISB。对于我们产品的核心，我们恰恰需要 IISB 提供的技术专业知识和系统基础设施。只有创业和研究的共生才能使我们能够利用全球需求的独家产品创造可持续的价值。”

Fraunhofer IISB 的 SiC 双极器件组经理 Oleg Rusch 给出了以下评估：“纯半导体制造实际上并不是 IISB 的主要业务，尽管原型、特殊元件和极小系列的加工现在已成为我们日常业务的一部分。 我们的总体首要关注点是为中小企业和工业提供卓越的科学技术、工艺知识和出色的设施基础设施。我们看到许多公司尚未开发的创新潜力，可以通过半导体领域的科学支持和研发服务来开拓。”

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