一种集成电路制造中的先进封装技术。它通过在芯片上穿孔并填充导电材料(如铜、钨、多晶硅等),实现芯片内、芯片间以及芯片与封装之间的垂直连接。以下是TSV的主要制造工艺流程:
- 硅片准备:选择合适的硅片作为开始工艺的基础。
- 深硅蚀刻:使用深反应离子刻蚀(DRIE)法等干法或湿法蚀刻技术在硅片上蚀刻出垂直的孔洞。这是TSV制造中的关键工艺,要求孔洞具有高深宽比和精确的尺寸。
- 孔洞隔离:在孔洞内沉积一层绝缘材料(如氧化硅),以隔离TSV孔洞,防止电流泄露。这一步骤通常使用化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)等方法进行。
- 种子层沉积:通过物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)等方法,在TSV孔洞内壁沉积一层导电材料(如铜),作为后续电镀填充的导电基底。这一层被称为种子层,其连续性和均匀性对后续的铜填充至关重要。
- 电镀填充:使用电镀技术将铜填充到TSV孔洞中,形成垂直的导电通道。电镀过程中需要控制电流、电压和电镀液的成分等参数,以确保填充的铜具有良好的导电性和机械性能。
- 平面化:使用化学机械抛光(CMP)等方法去除晶圆表面和TSV顶部多余的铜和绝缘材料,实现晶圆和TSV的平整化。这一步骤对于后续的封装和测试至关重要。
- 晶圆减薄:TSV要求晶圆减薄至一定厚度(如50μm甚至更薄),以使硅孔底部的铜暴露出来,为下一步的互连做准备。晶圆减薄可以通过机械研磨、化学机械抛光、湿法及干法化学处理等不同的加工工序来实现。
- 晶圆键合:将减薄后的晶圆与另一个晶圆或封装基板进行键合,形成垂直堆叠的结构。键合过程中需要控制温度、压力和时间等参数,以确保键合的强度和可靠性。
- 测试与封装:完成TSV的制造后,进行电气性能测试,确保TSV的导电性能和可靠性满足设计要求。然后进行后续的封装工艺,如封装外壳的制作、引脚的焊接等。
制造常见问题:空隙、界面分层和对基板短路
TSV的DFT方法:
- 扫描设计
- 内建自测试(BIST)
- 边界扫描设计