具有栅瓣抑制功能的非等间距光学相控阵芯片研究

摘 要:光学相控阵 (optical phased array,OPA) 作为一种激光扫描技术,具有扫描速度快、精度高、损耗小和易于集成化等优点,在光通信、无人驾驶、激光雷达和航空航天等领域具有广泛的应用前景。为了抑制旁瓣的产生,要求工作波长大于 OPA 的阵元间距,导致远场主瓣附近必然产生栅瓣,降低 OPA 扫描精度和扫描范围。提出了一种具有栅瓣抑制功能的非等间距 OPA 芯片,可实现宽视场、高精度的光斑偏转效果。采用遗传算法优化 64 路非等间距 OPA 阵元间距,得到最低栅瓣的阵元分布,实现最佳的栅瓣抑制效果。实验结果表明,在 1500 ~1600nm 波长范围内,优化后波导最小间距为2.2 um,最大间距为 11.4um,芯片远场光斑可实现 20°x10°的二维扫描角度,且对旁瓣的抑制作用显著。
关键词:光学相控阵;激光雷达;非等间距;遗传算法

引言
        随着无人驾驶、遥感技术和航天事业的发展门,激光雷达由于具有长距离和高精度的 3D 成像功能而受到越来越多的关注[2-4]。低成本、小尺寸的光学相控阵(optical phased array,OPA)[S-8] 被称为下一代激光雷达产品,具有扫描速度快、指向精度高、可控性好等优点。同时,半导体工艺的进步,尤其是与互补金属氧化物半导体工艺相兼容的绝缘体上硅技术的发展9,为开展大规模的硅光子集成提供了坚实的基础。硅基 OPA 通过控制各个阵列阵元的光信号相位实现光束偏转,相比于传统微波相控阵，其工作波长更小,响应速度更快。然而受限于加工工艺技术,OPA 阵元间隔 d 往往大于工作光波长 入,而均匀 OPA 相邻阵元间拥有相同的相位差,在远场干涉相长会出现周期性栅瓣,造成主瓣能量的损失,限制了波束的扫描范围。即使加工工