基于粒子追踪的气体流场仿真

摘要

        气体均匀性是影响等离子体形成及工艺过程的重要影响因素，工艺过程若想稳定，必须保证形成的等离子体是均匀且充分的，而等离子体的形成过程不受人为控制，因此，只能间接的从电场及气体流场方面对其进行间接控制，本项目旨在通过粒子追踪模块，对比分析三种进气通道对腔室内部气体均匀性的影响。

 项目背景

        在进行溅射、刻蚀作业前，需要将放电室内充满工艺气体，而不同通道数气针的进气效果有显著差异，其不仅直接影响着工艺前的准备时间，还关乎放电腔内工艺气体分布均匀性。本项目旨在通过有限元分析软件将放电腔内气体分子分布可视化，为气针结构优化提供支撑。

相关理论

 层流

        层流（laminar flow）是流体的一种流动状态，它作层状的流动。流体在管内低速流动时呈现为层流，其质点沿着与管轴平行的方向作平滑直线运动。流体的流体在管中心处最大，其近壁处最小。管内流体的平均流速与最大流速之比等于0.5。

朗伯比尔定律

 

         朗伯比尔定律揭示了物体发生弹性撞击时其动能（即物体质量乘以其速度的平方）是完全守恒的，即得出等式m1v1 + m2v2 = m1v1 + m2v2。 粒子追踪模块使用朗伯定律控制粒子间的相互作用，即粒子间的相互碰撞并不改变粒子总能量大小，只改变粒子运动方向。

仿真工具

仿真过程

建模

 网格划分

 参数设置

        事实上，此处应该为粒子添加曳力，但个人服务器计算能力有限，并且添加曳力后易出现报错，只能等以后回来填坑了，大家谨慎参考。

结果查看

对比分析 

 

结论

        对比分析二通道、三通道和四通道四种结构气针仿真结果可知： 三通道气针气体注入均匀性最佳，其高低浓度区间极差为12.51%，比四通道气针低5.27%，比二通道气针低25.49%。因此设计研发过程中，选择进气通道数时三通道效果应当比二四通道更优，但三通道加工成本更高，仁者见仁智者见智吧。