纳米集成电路制造工艺(第2版)笔记
基于体电动势对应费米能级和本征能级之间的能级差,可以得到如下的自建电压表达式:
ϕ
b
i
=
V
t
l
n
N
d
∗
N
a
n
i
2
\phi_bi = V_tln\frac{N_d*Na}{n_i^2}
ϕbi=Vtlnni2Nd∗Na
对于理想的二极管方程的推导,我们乃假定费米能级在整个耗尽区恒定,在低注入条件型,在耗尽区边缘的少数载流子密度由下式给出:
n
p
(
x
=
x
p
)
=
n
n
e
x
p
(
−
ϕ
b
i
−
V
a
V
t
)
=
n
i
,
p
2
N
a
e
x
p
(
V
a
V
t
)
n_p(x=x_p)=n_nexp(-\frac{\phi_bi-V_a}{V_t})=\frac{n_{i,p}^2}{N_a}exp(\frac{V_a}{V_t})
np(x=xp)=nnexp(−Vtϕbi−Va)=Nani,p2exp(VtVa)
p
n
(
x
=
x
p
)
=
p
p
e
x
p
(
−
ϕ
b
i
−
V
a
V
t
)
=
n
i
,
n
2
N
d
e
x
p
(
V
a
V
t
)
p_n(x=x_p)=p_pexp(-\frac{\phi_bi-V_a}{V_t})=\frac{n_{i,n}^2}{N_d}exp(\frac{V_a}{V_t})
pn(x=xp)=ppexp(−Vtϕbi−Va)=Ndni,n2exp(VtVa)
- n i , n n_{i,n} ni,n和 n i , p n_{i,p} ni,p分别是N区和P区半导体的本征载流子浓度
-
V
a
V_a
Va为外加电压
并假设二极管是一个"长"二极管,得到少数载流子和电流分布表达式:
n
p
(
x
)
=
n
p
0
+
n
p
0
(
e
x
p
(
V
a
V
t
)
−
1
)
e
x
p
(
x
+
x
p
L
n
)
(
x
<
−
x
p
)
p
n
(
x
)
=
p
n
0
+
p
n
0
(
e
x
p
(
V
a
V
t
)
−
1
)
e
x
p
(
x
+
x
n
L
p
)
(
x
n
<
x
)
j
n
(
x
)
=
q
D
n
d
n
d
x
=
q
D
n
n
p
0
L
n
(
e
x
p
V
a
v
t
−
1
)
e
x
p
(
x
+
x
p
L
n
)
(
x
<
−
x
p
)
j
p
(
x
)
=
q
D
p
d
p
d
x
=
q
D
p
p
n
0
L
p
(
e
x
p
V
a
v
t
−
1
)
e
x
p
(
x
+
x
n
L
p
)
(
x
n
<
x
)
{n_p(x)} = n_{p0} + n_{p0}(exp(\frac{V_a}{V_t})-1)exp(\frac{x+x_p}{L_n}) \qquad (x \lt -x_p) \\ {p_n(x)} = p_{n0} + p_{n0}(exp(\frac{V_a}{V_t})-1)exp(\frac{x+x_n}{L_p}) \qquad (x_n \lt x) \\ {j_n(x)} = qD_n\frac{d_n}{d_x} = q\frac{D_nn_{p0}}{L_n}(exp\frac{V_a}{v_t}-1)exp(\frac{x+x_p}{L_n}) \qquad (x \lt -x_p) \\ {j_p(x)} = qD_p\frac{d_p}{d_x} = q\frac{D_pp_{n0}}{L_p}(exp\frac{V_a}{v_t}-1)exp(\frac{x+x_n}\textcolor{red}{L_p}) \qquad (x_n \lt x)
np(x)=np0+np0(exp(VtVa)−1)exp(Lnx+xp)(x<−xp)pn(x)=pn0+pn0(exp(VtVa)−1)exp(Lpx+xn)(xn<x)jn(x)=qDndxdn=qLnDnnp0(expvtVa−1)exp(Lnx+xp)(x<−xp)jp(x)=qDpdxdp=qLpDppn0(expvtVa−1)exp(Lpx+xn)(xn<x)
不太懂,感觉红色的部分应该是
L
p
L_p
Lp, 但是原文是
L
n
L_n
Ln, 有小伙伴知道原理的帮忙解释下。
这里
D
p
D_p
Dp,
D
n
D_n
Dn分别是空穴和电子在半导体中扩散系数,
L
p
L_p
Lp,
L
n
L_n
Ln分部是空穴和电子在N型和P型半导体内的扩散长度,
p
n
0
p_{n0}
pn0,
n
p
0
n_{p0}
np0分别是N型半导体内少数载流子空穴和P型半导体内少数载流子电子的热平衡载流子密度。
忽略载流子在半导体内的复合,得到理想二极管的电流密度为:
J
i
d
e
a
l
=
J
n
(
x
=
−
x
p
)
+
J
p
(
x
=
x
n
)
=
q
(
D
n
n
p
0
L
n
+
D
p
p
n
0
L
p
)
(
e
x
p
V
a
V
t
−
1
)
=
q
(
D
n
n
i
,
p
2
L
n
N
n
+
D
p
n
i
,
n
2
L
p
N
d
)
(
e
x
p
V
a
V
t
−
1
)
J_{ideal} = J_n(x=-x_p) + J_p(x=x_n) \\ =q(\frac{D_n n_{p0}}{Ln}+\frac{D_p p_{n0}}{Lp})(exp\frac{V_a}{V_t}-1) \\ = q(\frac{D_n n_{i,p}^2}{L_n N_n}+\frac{D_p n_{i,n}^2}{L_p N_d})(exp\frac{V_a}{V_t}-1)
Jideal=Jn(x=−xp)+Jp(x=xn)=q(LnDnnp0+LpDppn0)(expVtVa−1)=q(LnNnDnni,p2+LpNdDpni,n2)(expVtVa−1)
晶体中电子的基本方程为:
φ k ( x ) = u k ( x ) e i 2 π k x \varphi_k(x)=u_k(x)e^{i2 \pi kx} φk(x)=uk(x)ei2πkx
- K为波矢
- u k ( x ) u_k(x) uk(x)为一个与晶格同周期的周期性函数: u k ( x ) = u k ( x + n a ) u_k(x)=u_k(x+na) uk(x)=uk(x+na)
双极性晶体管:
发射结正向偏置,集电极反向偏置。
通过发射极的电流使大量的少数载流子注入到基区,这些少数载流子扩散到集电结而形成集电极电流,只有极少量的少数载流子在基区内复合而形成基极电流。
金属-氧化物-半导体场效应晶体管:
一块薄层半导体受横向电场影响而改变其电阻的现象成为场效应。
根据结构可以分为:
- 采用金属-绝缘体-半导体的系统构成的金属氧化物半导体场效应晶体管(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor, MOSFET)
- 采用PN结构成栅极的结型场效应管(Junction Field-Effect Transistor, JFET)
- 采用金属与半导体接触肖特基势垒结构成的MESFET场效应晶体管
- 高电子迁移率晶体管(HEMT)
- 无结金属-氧化物-半导体场效应晶体管(Junctionless Field-Effect Transistor, JLFET)
- 量子阱场效应晶体管