半导体 1

纳米集成电路制造工艺(第2版)笔记

基于体电动势对应费米能级和本征能级之间的能级差,可以得到如下的自建电压表达式: ϕ b i = V t l n N d ∗ N a n i 2 \phi_bi = V_tln\frac{N_d*Na}{n_i^2} ϕbi=Vtlnni2NdNa
对于理想的二极管方程的推导,我们乃假定费米能级在整个耗尽区恒定,在低注入条件型,在耗尽区边缘的少数载流子密度由下式给出:

n p ( x = x p ) = n n e x p ( − ϕ b i − V a V t ) = n i , p 2 N a e x p ( V a V t ) n_p(x=x_p)=n_nexp(-\frac{\phi_bi-V_a}{V_t})=\frac{n_{i,p}^2}{N_a}exp(\frac{V_a}{V_t}) np(x=xp)=nnexp(VtϕbiVa)=Nani,p2exp(VtVa)
p n ( x = x p ) = p p e x p ( − ϕ b i − V a V t ) = n i , n 2 N d e x p ( V a V t ) p_n(x=x_p)=p_pexp(-\frac{\phi_bi-V_a}{V_t})=\frac{n_{i,n}^2}{N_d}exp(\frac{V_a}{V_t}) pn(x=xp)=ppexp(VtϕbiVa)=Ndni,n2exp(VtVa)

  • n i , n n_{i,n} ni,n n i , p n_{i,p} ni,p分别是N区和P区半导体的本征载流子浓度
  • V a V_a Va为外加电压
    并假设二极管是一个"长"二极管,得到少数载流子和电流分布表达式:

n p ( x ) = n p 0 + n p 0 ( e x p ( V a V t ) − 1 ) e x p ( x + x p L n ) ( x < − x p ) p n ( x ) = p n 0 + p n 0 ( e x p ( V a V t ) − 1 ) e x p ( x + x n L p ) ( x n < x ) j n ( x ) = q D n d n d x = q D n n p 0 L n ( e x p V a v t − 1 ) e x p ( x + x p L n ) ( x < − x p ) j p ( x ) = q D p d p d x = q D p p n 0 L p ( e x p V a v t − 1 ) e x p ( x + x n L p ) ( x n < x ) {n_p(x)} = n_{p0} + n_{p0}(exp(\frac{V_a}{V_t})-1)exp(\frac{x+x_p}{L_n}) \qquad (x \lt -x_p) \\ {p_n(x)} = p_{n0} + p_{n0}(exp(\frac{V_a}{V_t})-1)exp(\frac{x+x_n}{L_p}) \qquad (x_n \lt x) \\ {j_n(x)} = qD_n\frac{d_n}{d_x} = q\frac{D_nn_{p0}}{L_n}(exp\frac{V_a}{v_t}-1)exp(\frac{x+x_p}{L_n}) \qquad (x \lt -x_p) \\ {j_p(x)} = qD_p\frac{d_p}{d_x} = q\frac{D_pp_{n0}}{L_p}(exp\frac{V_a}{v_t}-1)exp(\frac{x+x_n}\textcolor{red}{L_p}) \qquad (x_n \lt x) np(x)=np0+np0(exp(VtVa)1)exp(Lnx+xp)(x<xp)pn(x)=pn0+pn0(exp(VtVa)1)exp(Lpx+xn)(xn<x)jn(x)=qDndxdn=qLnDnnp0(expvtVa1)exp(Lnx+xp)(x<xp)jp(x)=qDpdxdp=qLpDppn0(expvtVa1)exp(Lpx+xn)(xn<x)
不太懂,感觉红色的部分应该是 L p L_p Lp, 但是原文是 L n L_n Ln, 有小伙伴知道原理的帮忙解释下。

这里
D p D_p Dp, D n D_n Dn分别是空穴和电子在半导体中扩散系数,
L p L_p Lp, L n L_n Ln分部是空穴和电子在N型和P型半导体内的扩散长度,
p n 0 p_{n0} pn0, n p 0 n_{p0} np0分别是N型半导体内少数载流子空穴和P型半导体内少数载流子电子的热平衡载流子密度。

忽略载流子在半导体内的复合,得到理想二极管的电流密度为:
J i d e a l = J n ( x = − x p ) + J p ( x = x n ) = q ( D n n p 0 L n + D p p n 0 L p ) ( e x p V a V t − 1 ) = q ( D n n i , p 2 L n N n + D p n i , n 2 L p N d ) ( e x p V a V t − 1 ) J_{ideal} = J_n(x=-x_p) + J_p(x=x_n) \\ =q(\frac{D_n n_{p0}}{Ln}+\frac{D_p p_{n0}}{Lp})(exp\frac{V_a}{V_t}-1) \\ = q(\frac{D_n n_{i,p}^2}{L_n N_n}+\frac{D_p n_{i,n}^2}{L_p N_d})(exp\frac{V_a}{V_t}-1) Jideal=Jn(x=xp)+Jp(x=xn)=q(LnDnnp0+LpDppn0)(expVtVa1)=q(LnNnDnni,p2+LpNdDpni,n2)(expVtVa1)

晶体中电子的基本方程为:

φ k ( x ) = u k ( x ) e i 2 π k x \varphi_k(x)=u_k(x)e^{i2 \pi kx} φk(x)=uk(x)ei2πkx
- K为波矢
- u k ( x ) u_k(x) uk(x)为一个与晶格同周期的周期性函数: u k ( x ) = u k ( x + n a ) u_k(x)=u_k(x+na) uk(x)=uk(x+na)

双极性晶体管:
发射结正向偏置,集电极反向偏置。
通过发射极的电流使大量的少数载流子注入到基区,这些少数载流子扩散到集电结而形成集电极电流,只有极少量的少数载流子在基区内复合而形成基极电流。

金属-氧化物-半导体场效应晶体管:
一块薄层半导体受横向电场影响而改变其电阻的现象成为场效应。
根据结构可以分为:

  • 采用金属-绝缘体-半导体的系统构成的金属氧化物半导体场效应晶体管(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor, MOSFET)
  • 采用PN结构成栅极的结型场效应管(Junction Field-Effect Transistor, JFET)
  • 采用金属与半导体接触肖特基势垒结构成的MESFET场效应晶体管
  • 高电子迁移率晶体管(HEMT)
  • 无结金属-氧化物-半导体场效应晶体管(Junctionless Field-Effect Transistor, JLFET)
  • 量子阱场效应晶体管
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