晶圓(Wafer)

晶圓(Wafer)是指矽半導體積體電路製作所用的矽晶片,由於其形狀為圓形,故稱為晶圓,晶圓是生產集成電路所用的載體,一般意義晶圓多指單晶矽圓片。

晶圓是最常用的半導體材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規格,近來發展出12英寸甚至研發更大規格(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。晶圓越大,同一圓片上可生產的IC就越多,可降低成本;但對材料技術和生產技術的要求更高。一般認為矽晶圓的直徑越大,代表著這座晶圓廠有更好的技術.在生產晶圓的過程當中,良品率是很重要的條件

集成电路又称IC,是在硅板上集合多种电子元器件实现某种特定功能的电路模块。
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