什么是机器人的五点校正法_机器人校正方法

机器人校正方法

【专利说明】机器人校正方法

[0001]本申请案主张于2012年9月18日申请之美国临时专利申请案第61/702，377号的优先权，所述专利申请案的揭示完整结合于此以供参考。

技术领域

[0002]本发明涉及一种工件加工，尤其涉及一种用于工件加工的机器人的校正。

【背景技术】

[0003]离子布植是一种标准技术，将改变导电率的杂质引进工件中。所要的杂质材料在离子源中被离子化，离子被加速以形成规定能量的离子束，且离子束被导向工件的表面。离子束中的高能离子穿透进入工件材料的整体(bulk)，且被嵌入到工件材料的晶格，以形成所要导电率的区域。

[0004]太阳能电池制造工业的两个考量是:生产产量及电池效率。电池效率是测量转换成电力的能量的数量。在太阳能电池制造工业中，可能需要较高的电池效率以维持竞争力。然而，不能因增加电池效率而牺牲生产产量。

[0005]离子布植已经被证实是对太阳能电池进行掺杂的可行方法。使用离子布植可移除现存技术中所需的制程步骤，如扩散炉。举例来说，如使用离子布植取代扩散炉，则可移除激光边缘绝缘步骤，因为离子布植只会掺杂所要表面。除了移除上述制程步骤之外，使用离子布植已证实具有较高的电池效率。离子布植也提供:进行太阳能电池整个表面的全面性布植(blanket implant)的能力，或者对太阳能电池的一部分的选择性(或图案化)布植的能力。使用离子布植的高产量选择性布植，避免了炉管扩散中所使用的:昂贵且费时的微影或图案化步骤。选择性布植也能够进行新的太阳能电池设计。离子布植机的生产量或可靠度的任何改良，对全球的太阳能电池制造商是有利的。可加速采用太阳能电池作为另一种替代能量来源。

【发明内容】

[0006]揭示一种机器人校正方法，将