CCP全称是Capacitively Coupled Plasma,即电容耦合等离子。是一种广泛用于芯片制造刻蚀的工艺,能够以极高的精度和对材料的最小损伤来刻蚀晶圆材料。
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CCP工作原理:
电容耦合等离子体刻蚀由两块平行金属板组成,两个金属电极相隔一小段距离。反应器中的气体压力可以小于或等于大气压。典型的 CCP 系统由单个射频(RF) 电源驱动,通常频率为 13.56 MHz。两个电极之一连接到电源,另一个接地。由于这种结构在原理上类似于电路中的电容器,因此在这种结构中形成的等离子体称为电容耦合等离子体。
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当电极之间产生电场时,气体中的电子响应电场并获得能量。 离子越重,获得的能量就越少。高能电子可以直接或间接地通过碰撞使气体电离,产生二次电子。当电场足够强时,它会导致所谓的电子雪崩。雪崩击穿后,由于有大量的自由电子,气体变得导电。它通常伴随着气体中激发的原子或分子的光发射,当产生可见光时,用肉眼也可以间接观察到 等离子体的产生,。
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之后等离子体中的离子受到电场的吸引,以高速冲向其中一个电极,这个电极通常是覆盖有要刻蚀材料的晶圆。 离子以高速撞击材料表面,与表面的原子或分子发生物理和化学反应,从而达到刻蚀的效果。
CCP的优势
刻蚀速度更快:因为CCP刻蚀系统能够产生高密度的等离子体,RF(射频)电源产生的电场可以加速离子,使它们以更高的能量撞击待刻蚀的材料,从而提高刻蚀速度。
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刻蚀精度高:在CCP刻蚀过程中,由于射频电场的存在,离子的轰击方向性较好,这意味着离子主要是垂直于待刻蚀表面的方向移动。这种方向性轰击有助于实现高精度的刻蚀,因为它可以减少侧向刻蚀,从而提高刻蚀的深宽比。
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均匀性好:由于电容耦合的特点,CCP刻蚀通常能够在较低的气压下产生稳定的等离子体。等离子体的能量分布均匀,有利于实现均匀的刻蚀过程。
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ccp应用领域:
微电机系统(MEMS)
光电子器件
纳米材料研究等
CCP的常见刻蚀材料:
半导体材料,如硅、锗、砷化镓、氮化镓等。
绝缘材料,如氧化硅、氮化硅、氧化铝等。
金属材料,如铝、铜、钛、钨、金、银等。
光学材料,如玻璃、石英等。
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