热氧化是在高温下通过化学反应在硅表面生成氧化硅的方式。有干湿氧两种方式,方程式为:干氧化 Si + O₂ → SiO₂湿氧化 Si + 2H₂O → SiO₂ + 2H₂由于是用热量来维持反应,因此需要高温,在1100℃左右。
而PECVD是在相对低温下利用等离子体增强化学反应在基片表面沉积氧化硅薄膜的方式。反应气体可以是硅烷或TEOS等,方程式为: SiH₄ + 2O₂ → SiO₂ + 2H₂O由于用等离子的方式,反应温度可以大幅度的下降。