湿法设备如何选择合适的喷嘴？

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：喷嘴感觉都差不多，如何去选择呢？有什么区别吗？

通常我们在选择喷嘴时，要考虑的因素有：喷嘴效率，液滴大小，喷雾角度，对晶圆的冲击力，喷雾模式等。

喷嘴效率

喷嘴效率是衡量喷嘴将输入的压力能 转化为输出动能的能力，公式为：

部分能量因摩擦和湍流而损失，这部分损失会降低喷嘴的效率。因此喷嘴效率在 55%到 95%之间。

喷雾的液滴大小

液滴大小直接影响喷雾效果、冷却效率、颗粒去除能力等。液滴大小受喷雾器结构，液体能量强度，液体表面张力，液体密度等影响。

喷雾角度

喷雾角度 是指液体通过喷嘴喷出时形成的锥形液流的开口角度。喷雾角度越大，喷雾覆盖的面积越广。在需要高冲击力的场景中（如颗粒去除、清洗），通常选择30°以下的窄喷雾角度。如果需要均匀喷洒，且冲击力需求不强时，可以采用90°以上的角度。

冲击力

冲击力是指喷嘴喷出的液流碰撞到目标表面时产生的力。可以通过增加喷射压力，减小喷嘴孔径，调整喷雾角，缩短喷洒距离来提高冲击力。

喷洒模式

喷嘴的喷洒模式有：实心流，全锥喷雾，空心锥喷雾，扁平喷雾，直线形等，见图

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