传感器与检测技术(适用于太理自动化专业复习)
1.试述应变片温度误差的概念产生原因和补偿办法。
由于测量现场环境温度偏离应变片标定温度而给测量带来的附加误差,称为应变片温度误差。
产生应变片温度误差的主要原因有:
(1) 由于电阻丝温度系数的存在,当温度改变时,应变片的标称电阻值发生变化。
(2) 当试件与与电阻丝材料的线膨胀系数不同时,由于温度的变化而引起的附加变形,使应变片产生附加电阻。
电阻应变片的温度补偿方法有线路补偿法和应变片自补偿法两大类。电桥补偿法是最常用且效果较好的线路补偿法,应变片自补偿法是采用温度自补偿应变片或双金属线栅应变片来代替一般应变片,使之兼顾温度补偿作用。
2.分析变气隙电感传感器出现非线性的原因,并说明如何改善?
“变气隙电感传感器是非线性”是指这种传感器的电感量的大小与气隙大小呈非线性关系,它是由电感的材料和结构决定的。通过设计成差动式变气隙电感方式和桥式电路的转换,可以大大改善电感传感器的非线性,还可以提高传感器的灵敏度。
答法2:①原因是改变了空气隙长度
②改善方法是让初始空气隙距离尽量小,同时灵敏度的非线性也将增加,这样的话最好使用差动式传感器,灵敏度增加非线性减少。
3.压电式传感器的前置放大器的作用是什么?电压式与电荷式前置放大器各有何特点?
输出电压放大,并与输入电压或输入电流成正比;
电压放大器将压电式传感器的高输出阻抗经放大器变换为低阻抗输出,并将微弱的电压信号进行适当放大,但其所接配的压电式传感器的电压灵敏度将随电缆分布电容及传感器自身电容的变化而变化,而且电缆的的更换得引起重新标定的麻烦;
电荷放大器是一种具有深度电容负反馈的高增益运算放大器,其虽然允许使用很长的电缆,并且电容Ce变化不影响灵敏度,但它比电压放大器价格高,电路较复杂,调整也比较困难;
在光线作用下使物体的电子逸出表面的现象称为外光电效应,如光电管﹑光电倍增管等属于这类光电器件。在光线的作用下能使物体电阻率改变的现象称为内光电效应,如光敏电阻等属于这类光电器件。在光线的作用下能使物体产生一定方向的电动势的现象,称为阻挡层光电效应,如光电池、光敏晶体管等属于这类光电器件。阻挡层光电效应即光生伏特效应。
5.非接触测温方法及对应的辐射定律
(1)光学高温计:它是目前工业中应用较广的一种非接触式测温仪表。精密光学高温计
用于科学实验中的精密测试;标准光学高温计用于量值的传递。光学高温计可用来测量 800℃到 3200℃的高温。由于用肉眼进行色度比较,所以测量误差与人的经验有关。光学高温计测量的温度称为亮度温度(TL),被测对象为非黑体时,要通过修正才能得到非黑体的真是温度。
(2)光电高温计:光学高温计是由人工操作来完成亮度平衡工作的,其测量结果带有操作者的主观误差。它不能进行连续测量和记录,当被测温度低于 800℃时,光学高温计对亮度无法进行平衡。它采用新型的光电器件自动进行平衡,达到连续测量的目的。
(3)辐射温度计:它是根据全辐射强度定理(斯忒藩-波尔兹曼定律),即物体的总辐射
强度与物体的四次方成正比的关系来测量的。它由辐射感温器和显示仪表两部分组成,可用于 400℃到 2000℃的高温。辐射高温计测量的温度称为辐射温度 TE.。被测对象为非黑体时,要通过修正才能得到非黑体的真实温度。
(4)比色温度计:比色温度计是通过测量热辐射体在两个或两个以上波长的光谱辐射亮
度之比来测量温度的。其特点是准确度高,响应快,可观察小目标(最小可到 2mm)。用比色温度计测得的温度称为比色温度 Ts,它与物体的真实温度 T 很接近,一般可以不进行校正
6.气象色谱仪的分析原理和工作流程
在气相色谱分析中,流动相为载气,多数使用 N2,H2,He 等气体。载气由高压气瓶供
给,经干燥净化装置除去杂质和水分,再经过计量、调节仪表使之以稳定的压力和精确的流量先后键入汽化室、色谱柱、检测器,然后放空。被分析试样常用微量注射器打进汽化室,当试样为液体时,要经过汽化室加热使之瞬间汽化,成为气体试样。试样被载气带进色谱柱进行分离,其不同组分将按顺序依次进入检测器(如热导池)。
测量误差范围:系统误差、随机误差、粗大误差
静态指标:线性度、灵敏度、重复性、迟滞、温度稳定性
2题
1准确度, 准确度是指测量数据的平均值偏离真实值的程度,反映测量结果中系统误差的影响程度; 测量的准确度高,说明测量的平均值与真实值偏离较小。但由于偶然误差情况不确定数据不一定都集中于真实值附近,可能是分散的。故测量准确度高不一定测量精密度高。
2精密度, 各次测量的数据大小彼此接近的程度,反映测量结果中随机误差的影响程度; 量精密度高,说明各测量数据比较接近和集中。但由于系统误差情况不确定。
3精确度, 指测量数据集中于真实值附近的程度,反映测量结果中系统误差和随机误差综合的影响程度,其定量特征可用测量的不确定度(或极限误差)表示。测量的精确度高,说明测量的平均值接近真实值,且各次测量数据又比较集中,即测量的系统误差和偶然误差都比较小,测量得既准确又精密。因此,测量的精确度才是对测理结果的综合评价。
3题
1对称性,绝对值相等的正误差和负误差出现的次数相等;
2单峰性,绝对值小的误差比绝对值大的误差出现的次数多;
3有界性,在一定的测量条件下,随机误差的绝对值不会超过一定界限;
4抵偿性,随着测量次数的增加,随机误差的算术平均值趋于零。
4题
6题
算术平均值求法、标准差的求法(注意/n-1)
7题
算术平均值求法±3倍的的标准差,超出这个范围就是坏值。
9题
传感器的静态特性是它在稳态信号作用下的输入-输出关系。静态特性所描述的传感器
的输入、输出关系式中不含有时间变量
性能指标:
10题
传感器的动态特性是指传感器的输出对随时间变化的输入量的响应特性,反映输出值真实再现变化量的输入量的能力。可以从时域和频域两个方面,采用瞬态响应法和频率响应法分析。
11.题
最小二乘法出拟合直线与实际数值做差,取最大值,得到B
14题
(1)因为 ,故当 时,即要求 ,所以 。化简得:
则
(2) 当作50Hz信号测试时,有
16题
传感器的标定是通过试验建立传感器输入量与输出量之间的关系。同时,确定出不同使用条件下的误差关系。
静态标定:目的是确定传感器的静态特性指标,如线性度、灵敏度、滞后和重复性等。
动态标定:目的是确定传感器的动态特性参数,如频率响应、时间常数、固有频率和阻
尼比等。
18题
1题.
金属丝的电阻随着它所受的机械形变(拉伸或压缩)的大小而发生相应变化的现象称为金属的电阻应变效应。
工作原理:
2题
金属电子应变片是利用金属合金体形变导致电阻变化的原理制成的形变传感器
导体应变片是利用半导体结构形变导致载流子密度变化制成的形变传感器。
电阻应变片的优点是性能稳定、精度较高。但是,它的缺点是应变灵敏系数较小,检出比较困难。
半导体应变片的优点是灵敏度高,比金属电阻应变片约高 50 倍,输出值电平高, 但是,它的稳定差,受温度影响大。
3题
5题
由于测量现场环境温度偏离应变片标定温度而给测量带来的附加误差,称为应变片温度
误差。
产生应变片温度误差的主要原因有:⑴由于电阻丝温度系数的存在,当温度改变时,应 变片的标称电阻值发生变化。⑵当试件与与电阻丝材料的线膨胀系数不同时,由于温度的变 化而引起的附加变形,使应变片产生附加电阻。
电阻应变片的温度补偿方法有电桥补偿法和应变片自补偿法两大类。电桥补偿法是最常 用且效果较好的线路补偿法,应变片自补偿法是采用温度自补偿应变片或双金属线栅应变片 来代替一般应变片,使之兼顾温度补偿作用
6题
单臂;半桥差动;全桥差动;
7题 8题
9题
10题
11题 13题
1题
主要任务是把被测量变化转换成自感 L 的变化,通过测量电路转换成电压或电流输出。
带相敏检波的交流电桥能跟更好的完成,因为它容易做到输出平衡,便于阻抗匹配。
3题
相同点:工作原理都是建立在电磁感应的基础上,都可以分为变气隙式、变面积式和螺
旋式等。
不同点:结构上,自感式传感器是将被测量的变化转化为电感线圈的电感值变化。自感系数
差动变压器式电感式传感器是把被测量的变化转换为传感器互感的变化,传感器本身是互感系数
4题
零点残余电压:当差动电压器处于中心位置时,理想条件下,输出电压为 0,实际上,当使 用电桥电路时,在零点总有一个最小的输出电压。一般把这个最小的输出电压称为零点残余压。
产生原因:
1.由于两个二次测量线圈的等效参数不对称,时期输出地基波感应电动势的幅值和相位不同,调整磁芯位置时,也不能打到幅值和相位同时相同。
2.由于铁芯的 B-H 特性非线性,产生高次谐波不同,不能互相抵消。
消除方法:
1.在设计工艺上,力求做到磁路对称、线路对称。
2.采用拆圈的试验方法减小零点残余电压。
3.在电路上进行补偿。线路补偿主要有:加串联电阻,加并联电容,加反馈电阻或反馈电容
5题
6题
9题
11题
14题
15题
1x题
光电传感器就是以光电器件为检测元件的传感器。电绝缘抗电线位移,线速度,角位移, 角速度。
2题
色彩光电传感器主要是用来识别颜色,也就是用来判断测量到的颜色与所期望的颜色是否一致。色彩传感器可以大致知道所测颜色的色度等,但并不像分光器那样可用于测量色度的绝对值。任何颜色的光可以用三基色光线(红、绿、蓝)合成,因此,使用三个光电二极管,在光路上分别安装这三个颜色的滤镜,就可以得到光线的三基色分量值,也就得到了颜色。由于光电管对三种颜色光线的感光灵敏度不一致,需要调整三个电路的放大倍数以矫正。
3题
二进制码:二进制代码,就是用0和1表示,满2进1的代码语言。
特点:
1.两个特点:它由两个基本字符0,1组成,二进制数运算规律是逢二进一。
2.表述:为区别于其它进制数,二进制数的书写通常在数的右下方注上基数2,或加后面加B表示。
循环码就是这样一种编码,它可以在卡诺图中依次循环得到。循环码又称格雷码( Grey Code )。
格雷码特点:
1、格雷码的特点是任意两组相邻之间只有一位不同,其余各位都相同,而且0和最大数(2的N次方减一)对应的两组格雷码之间也只有一位不同。
2、格雷码是一种循环码,它的特性使它在形成和传输过程中引起的误差较小。如计数电路按格雷码计数时,电路每次状态更新只有一位代码变化,从而减少了计数错误。
普通二进制码与格雷码相互转换关系为:
二进制码转换成格雷码:从最右边第一位开始,依次将每一位与左邻一位异或(XOR),作为对应格雷码该位的值,最左边一位不变。
2.格雷码转换成二进制码:
从左边第二位起,将每位与左边一位解码后的值异或(XOR),作为该位解码后的值(最左边一位依然不变)。
4题
转速测量的方法分为两大类:直接法和间接法。
直接法即直接观测机械或电机的机械运动,测量特定时间内机械运转规律从而测出机械运动的转速。间接法是因为机械或电机机械运动而产生变化的其他物理量与转速之间的关系来间接确定转速。
光电码盘测速法是在电机转子端轴上固定一个光电码盘,光电码盘上设置有一个或多个能透光的光栅,每个光栅背后都有一个光敏元件对应。随着电机转动,光电码盘也随着转动,当固定光源照射在光电码盘上时,透过光栅的光被光敏元件接收并产生脉冲电信号。假如光电码盘的编码数为1,在时间t内测量得到的脉冲数为N,则转速n=60N/(t*1)。码盘上的编码数量越多,测量精度也随着越高。
5题
硅光电池的光电效率高,传输信号比较可靠
6题
当 MOS 电容器栅压大于开启电压 Uth 时,由于表面势升高,如果周围存在电子,并迅速的聚集到电极下的半导体表面处,由于电子在那里的势能较低,所以可以形象的说,半导体表面形成了对于电子的势阱,即 CCD 势阱。
CCD 的电荷转移过程:为了实现信号电荷转移,首先必须使 MOS 电容阵列的排列足够紧密,以致相邻 MOS 电容的势阱相互沟通,即相互耦合。其次根据加在 MOS 电容上的电压越高,产生的势阱越深的原理,通过控制相邻 MOS 电容栅极电压的高低调节势阱的深浅,使信号电荷由势阱浅处流向势阱深处,还必须指出的是,在 CCD 中电荷的转移必须按照确定的方向。
7题
8题
9题
基本原理:莫尔条纹原理
形成:把光栅常数相等的主光栅和指示光栅相对叠合在一起(片间留有很小的间隙),
并使两者栅线之间保持很小的夹角θ,于是在近于垂直栅线的方向上出现明暗相间的条纹, 两光栅的栅线彼此重合,光线从缝隙中通过,形成亮带;l 两光栅的栅线彼此错开,形成暗带。
特点:
1.起放大作用:虽然光栅常数 W 很小,但只要调整夹角θ即可得到很大的莫尔条纹宽
度 BH,,起到了放大的作用。这样,就把一个微小移动量的测量转变成一个较大移动量的测量,既方便又提高了测量精度。
2.莫尔条纹的移动与栅距成比例:莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化,因此便于将
电信号做进一步细分,即采用“倍频技术”。将计数单位变成比一个周期 W 更小的单位,例如变成 W/10 记一个数,这样可以提高测量精度或可以采用较粗的光栅。
3.起平均误差作用:光电元件接收的并不只是固定一点的条纹,而是在一定长度范围
内所有刻线产生的条纹。这样,对于光栅刻线的误差起到平均作用,也就是说,刻线的局部误差和周期误差对于测量精度没有直接的影响,因此,就有可能得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度
`
1题
磁电式传感器由两部分组成,一部分是磁路系统,由它产生恒定直流磁场,为减少传
感器的体积,一般采用永久磁铁;另一部分是线圈,有它运动切割磁力线产生感应电动势。 另外,还有一些外壳、支撑、阻尼器、接线装置。磁电式传感器以电磁感应原理为基础。根据法拉第电磁感应定律 如果线圈是 N 匝,磁场强度为 B,每匝线圈平均长度 la, 线圈相对磁场运动的速度为 v=dx/dt, 则整个线圈产生的电动势为 可以用来来直接测量速度,如果在传感器的信号调节电路上加 一个积分电路或微分电路,就可以用来测量位移或加速度。
6题
试述霍尔效应的定义及霍尔传感器的工作原理。
半导体薄片至于磁场中,当他的电流方向与磁场方向不一致时,半导体薄片上平行与电流和磁场方向的两个面之间产生电动势,这种现象称为霍尔效应。
工作原理:在垂直与外磁场 B 的方向上放置半导体薄片,当半导体薄片流有电流 I 时,在半导体薄片前、后两个端面之间产生霍尔电势 UH,霍尔电动势的大小和激励电流 I 和磁场的磁感应强度成正比,与半导体薄片厚度 d 成反比级
10.题
(1)石英晶体是天然的六角形晶体,在直角坐标系中,x 轴平行于它的棱线,称为电轴, 通常把沿电轴方向的作用下产生电荷的压电效应称为纵向压电效应;y 轴垂直于它的棱面,称为机械轴,把沿机械轴方向的力作用下产生电荷的压电效应称为横向压电效应;z 轴表示其纵轴,称为光轴,在光轴方向时,不产生压电效应。
压电陶瓷是人工制造的多晶体,在极化处理以前,各晶粒的电畴按任意方向排列,当陶瓷施加外电场时,电畴由自发极化方向转到与外加电场方向一致,此时,压电陶瓷具有一定极化强度,这种极化强度称为剩余极化强度。由于束缚电荷的作用,在陶瓷片的电极表面上很快就吸附了一层来自外界的自由电荷,正负电荷距离大小因压力变化而变化,这种由机械能转变成电能的现象就是压电陶瓷的正压电效应,放电电荷的多少与外力的大小成比例关系,Q=d 33 F
(2)石英晶体作为常用的压电传感器具有转换效率和装换精度高,线性范围宽,重复性好,固有频率高,动态特性好,工作温度高达 550℃(压电系数不随温度变化而改变),工作湿度高达 100%等优点,它的稳定性是其它压电材料无法比拟的。
刚刚极化后的压电陶瓷的特性是不稳定的,经过两三个月以后,压电系数才近似保持
为一定常数,经过两年以后,压电常数又会下降,所以做成的压电传感器要经常校准,另外,压电陶瓷也存在逆压电效应
12题
简述压电式传感器的特点及其应用。
压电式传感器具有体积小,重量轻,结构简单,工作可靠,动态特性好,静态特性差的
特点,该传感器多用于加速度和动态力或压力的测量。
1题90 国际温标(ITS-90)的主要内容是什么?
(1) 温度单位,热力学温度是基本物理量,符号为 T,单位为开尔文(K)
(2) 定义固定温度点,
是利用一系列纯物质各相间可复现的平衡状态或蒸汽压所建立起来的特征温度点。
(3) 复现固定温度点的方法
90 国际温标把温度分为 4 个温区,各个温区的范围
,一般在水的冰点以上的温度使用摄氏度单位(℃),在冰点以下的温度使用
热力学温度单位(K)。
4.什么是电阻温度计的三线制连接?有何优点?
5.简述热电偶的工作原理。
7.简述热电偶冷端补偿的必要性,常用冷端补偿有几种方法?并说明补偿原理。
由热电偶的测温公式可知,热电偶的热电势大小不仅与热端温度有关,而且也与冷端温
度有关。只有当冷端温度恒定时,才能通过测量热电势的大小得到热端的温度。当热电偶冷端处在温度波动较大的地方时,必须首先使用补偿导线将冷端延长到一个温度稳定的地方, 再考虑将冷端处理为 0℃,这就是热电偶的冷端处理和补偿。
补偿导线法:补偿导线在 100℃(或 200℃)以下的温度范围内,具有与热电偶相同的
热电特性,用它连接热电偶可起到延长热电偶冷端的作用
热电偶冷端温度恒温法:在一个保温瓶里放冰水混合物,1 个标准大气压(101.325KPa)
的冰和纯水的平衡温度为 0℃。在密封的盖子上插上若干支试管,试管的直径应尽量小,并 有足够的插入深度。试管底部有少量高度相同的水银或变压器油,若放水银则可把补偿导线 与铜导线直接插入试管中的水银里,形成导电通路。不过在水银面上应加少量蒸馏水并用石蜡封结,以防止水银蒸发和溢出。
计算修正法:在实际应用中,热电偶的参比端往往不是 0℃,而是环境温度 T1,这时
测量出的回路热电势要小。因此,必须加上环境温度 T1与冰点 T 0之间温差所产生的热电势后才能符合热电偶分度表的要求。根据连接导体和中间温度则有:E=(T,0)=E(T,T1 )+E(T1, 0)。可用室温计测出环境温度 T1,从分度表查出 E(T1,0)的值,然后加上热电偶回路热电 势 E(T,T1 ),得到 E=(T,0)的值,反查分度表即可得到准确的被测温度 T 值。
冷端补偿电桥法:利用直流不平衡电桥产生的电势来补偿热电偶冷端温度变化而引起的
热电势的变化值。
9. 在一测温系统中,用铂铑——铂热电偶测温,当冷端温度为 t 0 =30℃时,在热端温度 t 时测的热电势 E=(t,30℃)=6.63mV,求被测对象的真实温度。
- 有哪些非接触式测温方法?请简述其工作原理
(1)光学高温计:它是目前工业中应用较广的一种非接触式测温仪表。精密光学高温计
用于科学实验中的精密测试;标准光学高温计用于量值的传递。光学高温计可用来测量 800℃到 3200℃的高温。由于用肉眼进行色度比较,所以测量误差与人的经验有关。光学高温计测量的温度称为亮度温度(TL),被测对象为非黑体时,要通过修正才能得到非黑体的真是温度。
(2)光电高温计:光学高温计是由人工操作来完成亮度平衡工作的,其测量结果带有操作者的主观误差。它不能进行连续测量和记录,当被测温度低于 800℃时,光学高温计对亮度无法进行平衡。它采用新型的光电器件自动进行平衡,达到连续测量的目的。
(3)辐射温度计:它是根据全辐射强度定理(斯忒藩-波尔兹曼定律),即物体的总辐射
强度与物体的四次方成正比的关系来测量的。它由辐射感温器和显示仪表两部分组成,可用于 400℃到 2000℃的高温。辐射高温计测量的温度称为辐射温度 TE.。被测对象为非黑体时,要通过修正才能得到非黑体的真实温度。
(4)比色温度计:比色温度计是通过测量热辐射体在两个或两个以上波长的光谱辐射亮
度之比来测量温度的。其特点是准确度高,响应快,可观察小目标(最小可到 2mm)。用比色温度计测得的温度称为比色温度 Ts,它与物体的真实温度 T 很接近,一般可以不进行校正
第一章 绪论1
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自动化检测技术是自动化领域的最重要组成部分。
-
被检测的信息——传感器——检测电路——输出单元
-
发展趋势:提高仪器性能、开发新型传感器、开发新型敏感元件、采用新的加工工艺、微电子技术、研究集成化
-
传感器:以一定精度把被测量(非电量)转换为某种物理量(电量)的装置。(多开环、少闭环)
组成: -
传感器的分类:工作机理(物理/化学/生物)
构成原理:结构型:利用物理学中场的定律构成的。与材料基本关,例如差动变压器
物性型:物质定律构成,与材料有关,半导体或光电管
能量转换:能量控制/能量转化
物理原理:电参量(电阻、电感)磁电式(磁电、微波)、压电式、光电式
使用:位移、压力、振动、温度 -
①等精度测量,在同一条件下所进行的一系列重复测量称为等精度测量。
②非等精度测量,在多次测量中,如对测量结果精确度有影响的一切条件不能完全维持不变的测量称为非等精度测量。
③真值,被测量本身所具有的真正值称为真值。真值是一个理想的概念,一般是不知道的,但在某些特定情况下,真值又是可知的,如一个整圆圆周角为360°等。
④实际值,误差理论指出,在排除系统误差的前提下,对于精密测量﹐当测量次数无限多时,测量结果的算术平均值极接近于真值,因而可将它视为被测量的真值。但是测量次数是有限的,故按有限测量次数得到的算术平均值,只是统计平均值的近似值,而且由于系统误差不可能完全被排除,因此通常只能把精度更高一级的标准器具所测得的值作为真值。为了强调它并非是真正的真值,故把它称为实际值。
⑤标称值,测量器具上所标出来的数值。
⑥示值,由测量器具读数装置所指示出来的被测量的数值。
⑦测量误差,用测量器具进行测量时,所测量出来的数值与被测量的实际值(或真值)之间的差值。精度测量: -
误差分类:(系统误差/随机误差/粗大误差)
(1)系统误差
在同一条件下﹐多次测量同一量值时绝对值和符号保持不变,或在条件改变时按一定规律变化的误差称为系统误差,简称系差。
引起系统误差的主要因素有:材料、零部件及工艺的缺陷,标准量值、仪器刻度的不准确,环境温度、压力的变化,其他外界干扰。
(2)随机误差
在同一测量条件下,多次测量同一量值时,绝对值和符号以不可预定的方式变化的误差称为随机误差。
随机误差是由很多复杂因素的微小变化的总和引起的,如仪表中传动部件的间隙和摩擦、连接件的弹性变形、电子元器件的老化等。随机误差具有随机变量的一切特点,在一定条件下服从统计规律,可以用统计规律描述,从理论上估计对测量结果的影响。
(3)粗大误差
超出规定条件下预期的误差称为粗大误差,简称粗差,或称寄生误差。
粗大误差值明显歪曲测量结果。在测量或数据处理中,如果发现某次测量结果所对应的误差特别大或特别小时,应判断是否属于粗大误差,如属粗差,此值应舍去不用。 -
精度(准确度/精密度/精确度)
① 准确度,反映测量结果中系统误差的影响程度;
2精密度,反映测量结果中随机误差的影响程度;
③精确度,反映测量结果中系统误差和随机误差综合的影响程度,其定量特征可用测量的不确定度(或极限误差)表示。 -
测量误差的表示方法(绝对误差/相对误差)
绝对误差:示值-真值(这里一般为实际值)=绝对误差
修正值:修正值与误差值相等,符号相反
实际相对误差:(绝对误差/真值(这里一般为实际值))*100%
示值相对误差:(绝对误差/示值)*100%
满度相对误差:(绝对误差/器具的满度值)*100%
器具的满度值:仪表的测量上限 -
随机误差:以不可预定的方式变化着的误差,但在一定条件下服从统计规律,可用统计规律描述。
正态分布:
1对称性,绝对值相等的正误差和负误差出现的次数相等;
2单峰性,绝对值小的误差比绝对值大的误差出现的次数多;
3有界性,在一定的测量条件下,随机误差的绝对值不会超过一定界限;
4抵偿性,随着测量次数的增加,随机误差的算术平均值趋于零。 -
随机误差的评价指标:(算术平均值/标准差/测量的极限误差)
算术平均值:一系列等精度测量。N越大,算术平均值作为真值越合理。
单次测量的标准差(注意/n-1)
算术平均值标准差
3塞格纳原则
-
系统误差
发现:(理论分析与计算/实验对比/残余误差观察/残余误差校核/计算数据比较)
剔除和消除:(从产生误差源上消除系统误差/引入修正值/零位式测量/补偿/对照)
粗大误差(认为超出3塞戈马则为粗大(坏值),应剔除,再重新计算)
不确定度:测量结果不能肯定的程度,定量表达被测量的分散程度的参数(可用标准差表示),分类:(标志/合成/拓展)P13 -
最小二乘法
所谓最小二乘法原理,是指测量结果的最可信赖值应在残余误差平方和为最小的条件下求出。在自动检测系统中,两个变量间的线性关系是一种最简单也是最理想的函数关系。P15 -
传感器的静态特性
传感器的静态特性是指输入被测量不随时间变化,或随时间变化很缓慢时,传感器的输出与输入的关系。如果不考虑传感器的迟滞和蠕变等因素,其静态特性可用以下多项式表示(多项式)衡量指标:线性度、灵敏度、迟滞、重复性、精度
线性度:传感器的线性度(又称非线性误差〉是指传感器的输出与输入之间的线性程度。
最小二乘法拟合直线精度最高
灵敏度: 灵敏度是指传感器在稳态下的输出变化量△y与引起此变化的输入变化量△z之比,用k表示,传感器对输入量的反应能力。
迟滞:传感器在正(输入量增大)反(输入量减小)行程期间,其输出–输入特性曲线不重合的现象称为迟滞,
重复值:重复性YR指在同一工作条件下﹐输人量按同一方向做全量程连续多次变化时,所得特性曲线不一致的程度,重复性误差属于随机误差,常用标准偏差表示,也可用正反行程中的最大偏差表示
精度(线性度、重复性、迟滞三项方和根或简单代数和)、零点偏移(无输入下每隔一段时间产生的读数差距)、温度漂移(每隔1度产生的最大偏差/满量程的百分比)
- 传感器的动态特性
传感器的动态特性是指传感器的输出对随时间变化的输入量的响应特性;
(常系数微分方程表示)P20
16. 传感器的标定P24
传感器的标定分为静态标定和动态标定两种。静态标定的目的是确定传感器的静态特性指标,如线性度、灵敏度,迟滞和重复性等。动态标定的目的是确定传感器的动态特性参数,如频率响应,时间常数、固有频率和阻尼比等。
第二章 电阻式传感器
- 应变式传感器
- 应变效应
电阻应变片的工作原理是基于金属的应变效应。金属丝的电阻随着它所受的机械形变(拉伸或压缩)的大小而发生相应变化的现象称为金属的电阻应变效应。
纵向应变;泊松比;压阻系数;应力值;弹性模量
- 应变片的结构种类(电阻丝/箔式电阻)
箔式电阻应变片的优点:
- 电阻应变片的特性
- 1.灵敏度系数
2.横向效应(应变片的横栅部分将纵向丝栅部分的电阻变化抵消了一部分,从而降低了整个电阻应变片的灵敏度)
3.温度误差及其补偿
原因:1.电阻温度系数的影响。
2.试件材料和电阻丝材料的线膨胀系数的影响。当试件与电阻丝材料的线膨胀系数不同时,由于环境温度的变化,电阻丝会产生附加变形,从而产生附加电阻。P36
温度补偿方法
- 电桥补偿
电桥补偿法的优点是简单、方便,在常温下补偿效果较好,其缺点是在温度变化梯度较大的条件下,很难做到工作片与补偿片处于温度完全一致的情况,因而影响补偿效果。
2. 应变片补偿(选择式自补偿应变片/双金属敏感栅自补偿应变片/热敏电阻补偿)
应变片的自补偿法。粘贴在被测部位上的是一种特殊应变片,当温度变化时,产生的附加应变为零或相互抵消,这种应变片称为温度自补偿应变片。利用这种应变片实现温度补偿的方法称为应变片自补偿法。
6. 电阻应变片的测量电路
- 电桥电路工作原理
1 ,电桥的输出电压与应变成线性关系。
2若相邻两桥臂的应变极性一致,即同为拉应变或压应变时,输出电压为两者之差;若相邻两桥臂的应变极性不同,则输出电压为两者之和。
3若相对两桥臂应变的极性一致,输出电压为两者之和,反之则为两者之差。
4电桥供电电压U越高,输出电压U。越大。但是,当U大时,电阻应变片通过的电流也大,若超过电阻应变片所允许通过的最大工作电流,传感器就会出现蠕变和零漂。
5增大电阻应变片的灵敏系数K,可提高电桥的输出电压。
合理地利用上述特性,可以进行温度补偿和提高传感器的测量灵敏度。如安装敏感元件及接成电桥时,应当使得应变, ,e,与e, ,e,的符号相反,这样便可增大电桥的输出电压。
2. 非线性误差及其补偿P39
为了消除非线性误差,在实际应用中,常采用半桥差动或全桥差动电路,如图2.1.8所示,以改善非线性误差和提高输出灵敏度。
半桥差动:
消除非线性误差;灵敏度提高2倍;温度补偿
全桥差动:
消除非线性误差;灵敏度提高4倍;温度补偿
7. 电阻式传感器的应用P40
- 力传感器(柱(筒)/梁/薄壁)
- 压力传感器(薄膜/筒式)
- 压阻式传感器
- 半导体的压阻效应
半导体的压阻效应是指单晶半导体材料在沿某一轴向受外力作用时,其电阻率发生很大变化的现象。不同类型的半导体,施加载荷的方向不同,压阻效应也不一样。目前使用最多的是单晶硅半导体。
电阻值由电阻率(应变),掺杂浓度(浓度越高,电阻越小)
9. 体型半导体电阻应变片P49
- 结构形式及特点
半导体应变片的主要优点是灵敏系数比金属电阻应变片的灵敏系数大数十倍。通常不需要放大器就可以直接输入显示器或记录仪,可简化测试系统;另外它的横向效应和机械滞后极小。但是,半导体应变片的温度稳定性和线性度比金属电阻应变片差得多,很难用它制作高精度的传感器,只能作为其他类型传感器的辅助元件。近年来,由于半导体材料和制作技术的提高,半导体应变片的温度稳定性和线性度都得到了改善。
2. 测量电路
10. 扩散性压阻式压力传感器
-
压阻式加速度传感器
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测量桥路及温度补偿
原因:压阻式传感器的输出方式是将集成在硅片上的4个等值电阻连成平衡电桥,当被测量作用于硅片上时,电阻值发生变化,电桥失去平衡,产生电压输出。但是,由于制造、温度影响等原因,电桥存在失调、零位温漂、灵敏度温度系数和非线性等问题,影响传感器的准确性。因此,必须采取有效措施,减少与补偿这些因素影响带来的误差,提高传感器测量的准确性。 -
测量电路
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零点温度补偿
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灵敏度温度补偿
电源回路串联二极管(必须考虑正向压降的阈值)
第三章 变电抗式传感器 -
自感式传感器P55
-
工作原理:自感式传感器是把被测量变化转换成自感L的变化,通过一定的转换电路转换成电压或电流输出。
-
变气隙式自感传感器
由此可见,变间隙式自感传感器的测量范围与灵敏度及线性度是相矛盾的,因此,变隙式自感传感器适用于测量微小位移场合。为了减小非线性误差,实际测量中广泛采用差动变隙式电感传感器。
-
变面积式自感传感器
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螺线管式自感传感器(单线圈、差动式)
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自感式传感器测量电路P59
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调幅电路(变压器电桥/相敏检波/谐振式调幅)
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调频电路
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调相电路
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自感传感器的灵敏度
自感传感器的灵敏度是指传感器结构(测头)和转换电路综合在一起的总灵敏度。 -
自感传感器应用P63
自感式位移/压力 -
差动传感器
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变隙式差动传感器
-
螺线管式差动变压器P66
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差动变压器的应用
力和力矩的测量,微小位移的测量,加速度3. -
电涡流式传感器P74
传感器激励线圈和被测金属体组成。根据法拉第电磁感应定律,当传感器激励线圈中通以正弦交变电流时,线圈周围将产生正弦交变磁场,使位于该磁场中的金属导体中产生感应电流,该感应电流又产生新的交变磁场。新的交变磁场阻碍原磁场的变化,使得传感器线圈的等效阻抗发生变化. -
电容式传感器P81
变极距型电容式/变面积型/变介电常数型
第四章 光电式传感器原理与应用
在光线作用下使物体的电子逸出表面的现象称为外光电效应,如光电管﹑光电倍增管等属于这类光电器件。在光线的作用下能使物体电阻率改变的现象称为内光电效应,如光敏电阻等属于这类光电器件。在光线的作用下能使物体产生一定方向的电动势的现象,称为阻挡层光电效应,如光电池、光敏晶体管等属于这类光电器件。阻挡层光电效应即光生伏特效应。
光电器件的物理基础是光电效应,在现代测量与控制系统中,应用非常广泛。由于光电元件具有响应快、结构简单、可靠性高等优点,在自动测试中得到广泛的应用。
- 光电效应和光电器件
- 光电管P97
顾名思义:充气光电管就是充了少量的惰性气体
2. 光电倍增管
- 光敏电阻
光敏电阻具有很高的灵敏度、很好的光谱特性,光谱响应从紫外区一直到红外区,而且体积小,重量轻、性能稳定,因此在自动化技术中得到了广泛的应用。
3.光敏电阻的基本特性
(1)伏安特性
在一定照度下,光敏电阻两端所加的电压与光电流之间的关系,称为伏安特性,如图4.1.8所示。
由曲线可知,在给定的电压情况下,光照度越大,光电流也就越大;在一定光照度下,所加的电压越大,光电流越大,而且没有饱和现象。但是不能无限制地提高电压,任何光敏电阻都有最大额定功率,最高工作电压和最大额定电流限制。光敏电阻的最高工作电压是由耗散功率决定的,而光敏电阻的耗散功率又和面积大小及散热条件等因素有关。
(2)光照特性
光敏电阻的光电流与光强之间的关系,称为光敏电阻的光照特性。不同类型的光敏电阻,光照特性不同。但多数光敏电阻的光照特性,类似于图4.1.9所示的曲线形状。
由于光敏电阻的光照特性呈非线性,因此它不宜作为测量元件,一般在自动控制系统中常用作开关式光电信号传感元件。
(3)光谱特性
光敏电阻对不同波长的光,其灵敏度是不同的,图4.1.10所示为硫化镉、硫化铅、硫化佗光敏电阻的光谱特性曲线。从图中可以看出,硫化镉光敏电阻的光谱响应峰值在可见光区域,而硫化铅的峰值在红外区域。因此,在选用光敏电阻时,应该根据光源考虑,这样才能得到较好的效果。
(4)响应时间和频率特性
实践证明,光敏电阻受到脉冲光照射时,光电流并不会立即上升到最大饱和值,而光照去掉后,光电流并不会立即下降到零。这说明光电流的变化对于光的变化,在时间上有一个滞后,这就是光电导的弛豫现象,通常用响应时间t表示。响应时间又分为上升时间t和下降时间t2,如图4.1.11所示。
上升和下降时间是表征光敏电阻性能的重要参数之一。上升和下降时间短,表示光敏电阻的惰性小,对光信号响应快。一般光敏电阻的响应时间都较大(几十至几百毫秒)。光敏电阻的响应时间除了与元件的材料有关外,还与光照的强弱有关,光照越强,响应时间越短。
由于不同材料的光敏电阻具有不同的响应时间,所以它们的频率特性也就不尽相同了
-
光敏二极管和光敏晶体管
特性
5.光电池
1.工作原理
光电池是一种直接将光能转换为电能的光电器件,它是一个大面积的PN结。当光照射到PN结上时,便在PN结的两端产生电动势(P区为正,N区为负)。这是因为当N型半导体和Р型半导体结合在一起构成一块晶体时,由于热运动,N区中的电子就向P区扩散,而P区中的空穴则向N区扩散,结果在P区靠近交界处聚集起较多的电子,而在N区靠近交界处聚集起较多的空穴,于是在过渡区形成了一个电场,电场的方向由N区指向P区。这个电场阻止电子进一步由N区向P区扩散和空穴进一步由P区向N区扩散,但是,却能推动N区中的空穴(少数载流子)和P区中的电子(也是少数载流子)分别向对方运动。
当光照到PN结上时,如果光子能量足够大,将在PN结区附近激发电子-空穴对。在 PN结电场作用下,N区的光生空穴被拉向P区,P区的光生电子被拉向N区。结果在N区就聚积了负电荷,带负电;P区聚积了正电荷,带正电。这样N区和P区之间就出现了电位差。用导线将PN结两端连接起来,电路中就有电流流过,电流的方向由Р区流经外电路至N区。若将电路断开,就可以测出光生电动势。
2.基本特性
光电池应用:模糊式;脉冲式
2. 光电码盘
1.工作原理
光电码盘式传感器是用光电方法把被测角位移转换成以数字代码形式表示的电信号的转换部件。如图4.2.1所示为光电码盘工作原理示意图。由光源Ⅰ发出的光线,经柱面镜2变成―束平行光或会聚光,照射到码盘3上。码盘由光学玻璃制成,其上刻有许多同心码道,每位码道上都有按一定规律排列着的若干透光和不透光部分,即亮区和暗区。通过亮区的光线经狭缝4后,形成一束很窄的光束照射在元件5上。光电元件的排列与码道―一对应。当有光照射时,对应于亮区和暗区的光电元件的输出相反﹐如前者为“1”,后者为“0”。光电元件的各种信号组合,反映出按一定规律编码的数字量,代表了码盘转角的大小。由此可见,码盘在传感器中是将轴的转角转换成代码输出的主要元件。
2.码盘和码制
为了消除粗大误差,通常采用双读数头法,或用循环码代替二进制码。
4. 光电码盘的使用
- 电荷耦合器件
结构和工作原理
CCD是一种半导体器件,由金属、绝缘层和半导体构成,是一种固态检测器。它由很多个光敏单元组成,每个光敏单元就是一个MOS(金属-氧化物-半导体)电容器(现今大多为光敏二极管)。形象地说,CCD由一系列排得很紧密的MOS电容器组成,且具有一般电容所不具有的耦合电荷的能力。一个光敏单元或一个MOS电容就是一个像素。由于光敏单元一般做得很小,所以,300~500万像素的数码相机很容易实现。 - CCD工作原理
(1)电荷存储的原理
CCD中基本单元是 MOS电容器。它是在P型或N型单晶硅的衬底上用氧化的办法生成一层厚度为100~150nm的 SiOz绝缘层,再在SiO表面按一定层次蒸镀一金属电极或多晶硅电极,在衬底和电极间加上一个偏置电压(栅极电压),从而形成了一个MOS电容器,如图4.3.1(a)所示。
(2)电荷转移的原理
从上面的讨论可知,外加在MOS管电容器上的电压越高,产生势阱越深;外加电压一定,势阱深度随势阱中电荷量的增加而线性下降。利用这一特性,通过控制相邻MOS管电容栅极电压高低来调节势阱深浅,让MOS管电容间的排列足够紧密,使相邻MOS管电容的势阱相互沟通,即相互耦合(通常相邻 MOS管电容电极间隙小于3pm,目前工艺上可做到小于0.2pm),就可使信号电荷由势阱浅处流向势阱深处,实现信号电荷的转移。
(3)电荷的产生及注入方式
CCD的电荷(少数载流子)的产生有两种方式:光注入和电注入。CCD用作光学图像传感。器时,信号电荷由光生载流子得到,即光注入。当光信号射到CCD硅片上时,在栅极附近的耗尽区吸收光子产生电子-空穴对。在栅极电压的作用下﹐多数载流子(空穴)将流人衬底,而少数载流(电子)则被收集在势阱中,形成信号电荷存储起来。这样高于半导体禁带宽度的那些光子,就能建立起正比与光强的存储电荷。
(4)电荷的输出P115
在CCD中,有效地收集和检测电荷是一个重要问题。CCD信号电荷的输出主要有电流输出和电压输出两种方式。
-
CCD图像传感器
CCD 图像传感器是利用CCD的光电转换和电荷换移的双重功能。当一定波长的入射光照射CCD时,若CCD的电极下形成势阱,则光生少数载流子就积聚到势阱中,其数目与光照时间和光强度成正比。使用时钟控制将CCD的每一位下的光生电荷依次转移出来,分别从同一输出电路上检测出,则可以得到幅度与各光生电荷成正比的电脉冲序列,从而将照射在CCD上的光学图像转移成电信号“图像”。由于CCD能实现低噪声的电荷转移﹐并且所有光生电荷都通过一个输出电路检测,具有良好的一致性,因此,对图像的传感具有优越的性能。
CCD图像传感器有线列和面阵两大类,它们各具有不同的结构和用途。 -
图像传感器的应用
尺寸测量
光学文字识别装置
- 光纤传感器
1.工作原理
光导纤维是用比头发丝还细的石英玻璃丝制成的,每一根光导纤维由一个圆柱形内芯和包层组成,而且内芯的折射率略大于包层的折射率,如图4.4.1所示。众所周知,真空中光是。沿直线传播的。然而入射到光导纤维中的光线都能限制在光导纤维中,随光导纤维弯曲而走弯曲的路线,并能传送很远的距离。在光导纤维中,传输信息的载体为光,当光导纤维的直径比光的波长大得多时,可以用几何光学原理,说明光在光纤内的传播。
2.主要参数
结构原理:
- 光栅传感器
光栅传感器是根据莫尔条纹原理制成的一种计量光栅,多用于位移测量及与位移相关的物理量,如速度、加速度、振动,质量,表面轮廓等方面的测量。按光栅的形状和用途分为长光栅和圆光栅,分别用于线位移和角位移的测量。按光线走向分为透射光栅和反射光栅。
如图4.5.1所示的光栅传感器由光源、透镜、光栅副(主光栅和指示光栅)和光电接收元件组成。光栅副是光栅传感器的主要部分。在长度计量中应用的光栅通常称为计量光栅,它主要由主光栅(也称标尺光栅)和指示光栅组成。当指示光栅相对于标尺光栅移动时,形成亮暗交替变化的莫尔条纹。利用光电接收元件将莫尔条纹亮暗变化的光信号,转换成电脉冲信号,并用数字显示,便可测量出标尺光栅的移动距离。
莫尔条纹形成的原理:
把光栅常数相等的主光栅和指示光栅相对叠合在一起(片间留有很小的间隙),并使两者栅线(光栅刻线)之间保持很小的夹角0,于是在近于垂直栅线的方向上出现明暗相间的条纹如图4.5.3所示。在a-u’线上,两光栅的栅线彼此重合,光线从缝隙中通过,形成亮带;在b-b线上,两光栅的栅线彼此错开,形成暗带。这种明暗相间的条纹称为莫尔条纹。莫尔条纹方匠与刻线方向垂直,故又称横向莫尔条纹。
特点:由式(4.5.2)可知,虽然光栅常数W很小,但只要调整夹角0即可得到很大的莫尔条纹宽度B:,起到了放大的作用。这样,就把一个微小移动量的测量转变成一个较大移动量的测量,既方便又提高了测量精度。
②莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化,因此便于对信号做进一步细分,即采用“倍频技术”。将计数单位变成比一个周期W更小的单位,例如变成W/10记一个数,这样可以提高测量精度或可以采用较粗的光栅。
③光电元件接收的并不只是固定一点的条纹,而是在一定长度范围内所有刻线产生的条纹。这样,对于光栅刻线的误差起到了平均作用,也就是说,刻线的局部误差和周期误差对于测量精度没有直接的影响,因此,就有可能得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。
上述是基于莫尔条纹技术利用长光栅进行位移测量,除此之外还可以用径向光栅进行角度测量。如图4.5.4所示,径向光栅就是在一圆盘面上刻有由圆心向四周辐射的等角间距的辐射线。当两块径向光栅重叠在一起时,如果使指示光栅刻线的辐射中心C略微偏离标尺光栅(度盘光栅)的中心C,便形成莫尔条纹,条纹垂直于两中心连线的垂直平分线。当标尺光栅相对于指示光栅转动时,条纹即沿径向移动,测出条纹的移动数目,即可得到标尺光栅相对于指示光栅转动的角度,以刻线的角间距为单位表示。目前径向光栅的刻线角间距范围多为20"~20’(相当于一圆周内刻有1080至64800条线)。
4. 光栅的光路P130
透射式光路 反射式光路 辨向原理 细分技术
细分技术P132
利用光栅进行测量时,当运动部件移动一个栅距,输出一个周期的交变信号,也即产生一个脉冲间隔。那么每个脉冲间隔代表移过一个栅距,即分辨率(或称脉冲当量)为一个栅距。例如,每毫米250条栅线的长光栅,栅距为4um,那么其分辨率(脉冲当量)为4um。随着对测量精度要求的提高,分辨率为4pm是不够的,希望提高到1m,0.lyum或更高。如果以光栅的栅距直接作为计量单位,则对长光栅来说,这意味着栅线的密度要达到每毫米千条线到万条线之多。就目前先进的工艺水平看,栅线密度为每毫米7000条线还能实现,但要达到每毫米万条线尚无法实现。另外,从经济角度看,采用密度太大的光栅作为标准器也不合适,因此人们广为采用的方法是:在选择合适的光栅栅距的前提下,以对栅距进行测微——电子学中称细分,来得到所需的最小读数值。
直接细分 电阻电桥细分 电阻链细分
第五章 电动势传感器原理与应用
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磁电式传感器
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工作原理
磁电式传感器是以电磁感应原理为基础的,也称电磁感应传感器。 -
动圈式磁电传感器
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磁阻式磁电传感器
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磁电式传感器的动态特性
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霍尔元件
将半导体薄片置于磁场中,当通过它的电流方向与磁场方向不一致时,半导体薄片上平行于电流和磁场方向的两个面之间产生电动势,这种现象称为霍尔效应,该电动势称霍尔电势半导体薄片称霍尔元件。 -
基本结构和基本电路
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主要参数特性
输入输出电阻、额定控制电流和最大允许控制电流、不等位电势U。不等位电阻r。 寄生直流电流 霍尔电势温度系数 -
误差及补偿
不等位电势误差的补偿
不等位电势与霍尔电势具有相同的数量级,有时甚至超过霍尔电势。实用中,若想消除不等位电势是极其困难的,因而只有采用补偿的办法。由图5.2.4看得出,不等位电势由不等位电阻产生,因此可以用分析电阻的方法找到一个不等位电势的补偿方法。一个矩形霍尔片有两对电极,各个相邻电极之间有4个电阻R, ,R: R。和R,因而可以把霍尔元件视为一个4臂电阻电桥,不等位电势就相当于电桥的初始不平衡输出电压。理想情况下,不等位电势为零,即电桥平衡,相当于R=R=R一R,则所有能够使电桥达到平衡的方法均可用于补偿不等位电势,使不等位电势为零,所以,补偿的方式很多,各有特点。由于霍尔元件的不等位电势是其工作温度的函数,所以,还要考虑温度补偿问题。图5.2.5是众多不等位电势补偿电路中的一种。它是对称电路,因而当温度变化时,补偿的稳定性要好些。
温度误差及其补偿
霍尔元件的基片是半导体材料,因而对温度的变化很敏感。其载流子浓度和载流子迁移率、电阻率和霍尔系数都是温度的函数。当温度变化时,霍尔元件的一些特性参数,如霍尔电势UH、输入电阻和输出电阻等都要发生变化,从而使霍尔传感器产生温度误差。
为了减小霍尔元件的温度误差,除选用温度系数小的元件或采用恒温措施外,由UH-K;IB可以看出,采用恒流源供电是一种有效的措施,可以使霍尔电势U稳定,但是,也只能减小由于输入电阻随温度变化引起控制电流Ⅰ变化(恒压源供电时)带来的影响。 -
应用
微位移和压力测量
磁场的测量 -
压电式传感器
- 工作原理
压电式传感器的工作原理是基于某些物质的压电效应。压电效应分正、逆压电效应,利用正压电效应制作成了电势型传感器。压电式传感器具有体积小、重量轻、结构简单、工作可靠、动态特性好,静态特性差的特点。该传感器多用于加速度和动态力或压力的测量。
压电式传感器的工作原理以晶体的压电效应为理论依据。某些物质在沿一定方向受到压力或拉力作用而发生改变时,其表面上会产生电荷;若将外力去掉时,它们又重新回到不带电的状态,这种现象就称为正压电效应。在压电材料的极化方向上,如果加以交流电压,那么压电片能产生机械振动,即压电片在电极方向上有伸缩的现象,压电材料的这种现象称为电致伸缩效应,也叫做逆压电效应。而具有压电效应的物体称为压电材料。常见的压电材料有石英、钛酸钡、错钛酸铅等。
石英晶体的压电效应
压电陶瓷的压电效应
- 工作原理
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压电元件的等效电路及信号测量电路
(1)电压放大电路
(2)电荷放大电路 -
压电式传感器的应用
加速度传感器 测力传感器
影响压电式传感器工作的主要因素
1)横向灵敏度
横向灵敏度是衡量横向干扰效应的指标。一只理想的单轴压电传感器,应该仅敏感其轴向的作用力,而对横向作用力不敏感。如对于压缩式压电传感器,就要求压电元件的敏感轴(电极向)与传感器轴线(受力向)完全一致。但实际的压电传感器由于压电切片,极化方向的偏差,压电片各作用面的粗糙度或各作用面的不平行,以及装配、安装不精确等种种原因,都会造成压电传感器电轴方向与力轴方向不重合。
产生横向灵敏度的必要条件:一是伴随轴向作用力的同时,存在横向力;二是压电元件本身具有横向压电效应。因此,消除横向灵敏度的技术途径也相应有:一是从设计、工艺和使用诸方面确保力与电轴的一致;二是尽量采用剪切型力电转换方式。一只较好的压电传感器,最大横向灵敏度不大于5%。
(2)环境温度和湿度
环境温度对压电传感器工作性能的影响主要有:①压电材料的特性参数;②某些压电材料的热释电效应;3传感器结构。
环境温度变化将使压电材料的压电常数d,介电常数e ,电阻率p和弹性系数k等机电特性参数发生变化。d和k的变化将影响传感器的输出灵敏度;c和o的变化会导致时间常数t= RC的变化,从而使传感器的低频响应变坏。
在必须考虑温度尤其是高温对传感器低频特性影响的情况下,采用电荷放大器将会得到满意的低频响应。
环境湿度主要影响压电元件的绝缘电阻,使其明显下降,造成传感器低频响应变坏。因此在高湿度环境中工作的压电传感器,必须选用高绝缘材料,并采取防潮密封措施。
(3)安装差异及基座应变
在应用中,压电传感器总是要通过一定的方式紧密安装在被测试件上进行接触测量的.由于传感器和试件都是质量–弹簧系统,通过安装连接后,两者将相互影响原来固有的机械特性(固有频率)。安装方式的不同,安装质量的差异,对传感器频响特性影响很大。因此在应用中,第一,要保证传感器的敏感轴向与受力向的一致性不因安装而遭到破坏,以避免横向灵敏度的产生。第二,应根据承载能力和频响特性所要求的安装谐振频率,选择合适的安装方式。第三,只有当传感器质量远小于试件质量时,试件对传感器的耦合影响,或传感器对试件的负载影响可减至最小。因此,对刚度、质量和接触面小的试件,只能用微小型压电传感器测量。
(4)噪声
压电元件是高阻抗、小功率元件,极易受外界机、电振动引起的噪声干扰,主要有声场、电源和接地回路噪声等。
压电传感器在强声中工作将受到声波振动激励而产生寄生电信号输出,称为声噪声。目前大多数压电传感器设计成隔离基座和独立外壳结构,声噪声影响极小。
电缆噪声是同轴电缆在振动或弯曲变形时,电缆屏蔽层、绝缘层和芯线间将引起局部相对滑动摩擦和分离,而在分离层之间产生的静电感应电荷干扰,它将混入主信号中被放大。减小电缆噪声的方法:一是在使用中固定好传感器的引出电缆;二是选用低噪声同轴电缆。
接地回路噪声是压电传感器接入二次测量线路或仪表而构成测试系统后,由于不同电位处的多点接地,形成了接地回路和回路电流所致。克服的根本途径是消除接地回路。常用的方法是在安装传感器时,使其与接地的被测试件绝缘连接,并在测试系统的末端一点接地,这样就大大消除了接地回路噪声。
第六章 温度检测
温度是一个重要的物理量,它反映了物体冷热的程度,与自然界中的各种物理和化学过程相联系。在生产过程中,各个环节都与温度紧密相联,因此,人们非常重视温度的测量。温度概念的建立及温度的测量都是以热平衡为基础的,当两个冷热程度不同的物体接触后就会产生导热、换热,换热结束后两物体处于热平衡状态,此时它们具有相同的温度,这就是温度最本质的性质。 -
热电阻式传感器P158
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金属热电阻
铂热电阻
铜热电阻
热电阻的结构
热电阻的结构比较简单,一般将电阻丝绕在云母、石英、陶瓷、塑料等绝缘骨架上,经过固定,外面再加上保护套管。普通工业用热电阻温度传感器的结构如图6.2.1所示。它由热电阻,连接热电阻的内部导线、保护管、绝缘管、接线座等组成。 -
半导体热敏电阻
一般来说,半导体比金属具有更大的电阻温度系数。半导体热敏电阻即是利用半导体的电阻值随温度显著变化的特性而制成的热敏元件。它是由某些金属氧化物和其他化合物按不同的配方比例烧结制成的,具有以下一些优点。
1.热敏电阻的温度系数比金属大,约大4~9倍,半导体材料可以有正或负的温度系数,根据需要可以选择。
2.电阻率大,因此可以制成极小的电阻元件,体积小,热惯性小,适于测量点温
3.结构简单
温度特性
结构
主要参数
3.热电阻式传感器的应用
金属热电阻传感器
半导体热敏电阻传感器
3. 热电偶传感器
温度转变为电势
原理
- 热电偶的基本定律
匀质导体定律
中间导体定律
连接导体定律
3.热电偶的冷端处理和补偿
补偿导线法
热电偶冷端温度恒温法
计算修正法
4.标准化热电偶
- 非接触式测温
辐射换热是3种基本的热交换形式之一,热辐射电磁波具有以光速传播、反射.折射、散射、干涉和吸收等特性。它由波长相差很远的红外线、可见光及紫外线所组成,它们的波长范围从10-3m到10°-8m。在低温时,物体辐射能量很小,主要发射的是红外线。随着温度的升高,辐射能量急剧增加,辐射光谱也向短的方向移动,在500℃左右时,辐射光谱包括部分可见光;到800℃时可见光大大增加,即呈现"红热”;如果到3000℃时,辐射光谱包括更多的短波成分,使得物体呈现“白热”有经验的技术人员从观察灼热物体表面的“颜色”来大致判断物体的温度,这就是辐射测温的基本原理。
第七章 流量检测