流量测量&腐蚀速度

如果你在一个简陋的实验环境，而正好需要测量气体流量，只需要有一个量筒、水桶、水就可以完成实验。

首先，桶中装入适量的水；

然后，量筒装满水并倒扣在水桶中，保证量筒被水充满，即不存在气体、气泡；

将气管从量筒口端插入，同时计时；

时间结束后，排除量筒的水的体积约等于气体体积，然后就可以计算出气体流量。

 

BPSG和TEOS在不同清洗条件下的腐蚀速度：

条件：HF、1#、2#、HF+1#+2#

实验过程：a.两种硅片各取4片，测量清洗前膜厚；b.各取一片进行HF清洗；同理进行1#、2#、HF+1#+2#清洗，清洗后测量所有片子膜厚；c.清洗前后膜厚的差值与时间的比值就是腐蚀速度。