Shrink工艺当中的“坑”你知道吗？

        Foundry厂主流工艺为0.18μm、0.13μm、90nm、65nm、45nm、32nm等，而shrink工艺就是foundry在主流工艺的基础上，将相关参数设置进行调整，从而能够得到制程更先进的工艺。这么做的好处就是foundry的开发成本降低很多。如0.11um的工艺就是从0.13um的工艺基础上shrink得到的。

        针对0.11um工艺，PR后产生的GDS其实是0.13μm的。GDS给到foundry后，还要将其shrink到0.11μm。因此我们在APR和signoff使用的qrcTechfile或者nxtgrd文件都是基于0.13μm来的，包括里面的width/spacing都是0.13μm的。

        在Innovus跑pr时，首先要去看一下ict或者qrctechfile文件里面是否包含了scale factor 0.9。当然一般Foundry提供techfile肯定都是设置了scale fctor的。如果我们发现，rc techfile里面并未定义scale factor，可以在innovus中将scale factor定义为0.9：setShrinkFactor 0.9。

        如果qrcTechfile中设置了shrink scale 0.9，而innovus也设置了shrink scale 0.9，那么Innovus会将qrcTechfile中factor替换掉。

        而在signoff阶段，我们也需要查看一下RC techfile中是否包