算法
RCWA
RCWA是一种适用于求解周期性电磁场的算法。目前主要用于研究各种周期性结构衍射特性分析中。RCWA 算法中,电磁场被展开为空间谐波(傅里叶级数)。分立的空间谐波并不满于波动方程,但它们的叠加结果满足波动方程。一般来说,RCWA操作有三个步骤:
(1) 介电常数和磁导率做傅里叶展开
(2) 入射、透射和光栅区域的平面波展开。并将光栅区域的展开式带入麦克斯韦方程组得到耦合波本征方程并求解。
(3) 利用电磁场分量切向连续条件得到散射矩阵。并可得到光栅的衍射特性,如反射率、透射率、电磁场分布、各级衍射效率等等。
FDTD
时域有限差分法是由K.S.Yee在1966年发表的一篇论文建立起来的,后被称为 Yee 网格空间离散法。本质原理是将随时间变化的 Maxwell 旋度方程更改为离散差分形式,将连续的空间分成有限的网格进行计算。网格数量越多,计算结果更加精准,但是计算量也呈指数倍数增长,计算所需时间越长。计算过程主要是在给定的时间点求解空间体积中的电场矢量分量,然后在下一个时刻计算相同空间体积中的磁场矢量分量,并在此结果上进行下一次的循环运算。在空间和时域上分别不断进行循环计算,最终得到比较精准的瞬态或稳态电磁场结果。通过这样一系列计算可以获得计算范围内任意时间和空间点上的计算结果,有助于去理解模型空间范围内的电磁场传播。FDTD算的快但是不精确,可以用来算电大尺寸的物体,要是一个物体的尺寸大于10个波长,一般的服务站是跑不动FEM的,那必须得用FDTD了。FEM最经典的电磁仿真软件就是海飞丝(HFSS),一般都是拿来算电小尺寸物体的,贴片天线、各种小天线肯定是要用FEM算的。CST软件内置的FIT算法(有限积分法),有时域和频域两种算法,速度和硬件消耗处于FDTD和FEM之间,精确度也是比FDTD好,比FEM差,可以算电大尺寸物体。
Stack
STACK 是分析多层膜的最佳仿真工具,和求解麦克斯韦方程相比能迅速仿真如抗反射膜、OLED、VCSEL等组件的光学特性。能精准描述多层膜的波动光学特性,如干涉以及微腔效应,并支持平面波和偶极子光源。STACK 支持脚本运算,通过API能和 Python 或Matlab 互操作。
MODE
MODE 是一款基于光波导设计环境的专业仿真和综合分析工具。该软件包含双向传输的 EME 算法和变分VarFDTD 以及FDE 有限差分本征模算法,可以方便地设计仿真大型平面波导结构和长距离传输器件,以获得准确的空间场、频散特性和重叠积分分析等。MODE支持 Lumerical多物理场仿真,和 CHARGE和HEAT的联用让 MODE能够处理集成光学中的光、电和热效应。其设计环境也提供脚本化功能、支持后处理和优化程序,让用户可以更有效地实现复杂 器件的设计要求。
Charge
CHARGE 基于有限元漂移- 扩散方法,能为设计师对有源光子和光电半导体器件中的电荷传输提供正确的工具进行综合全面的仿真。CHARGE 可自洽求解描述静电势 (泊松方程) 和自由载流子密度(漂移- 扩散方程) 的方程组。此外,AnsvsLumerical CHARGE 还提供了自动化和引导网格优化工具,能够在最大限度减少计算工作的同时实现准确性。
Heat
Ansys Lumerical HEAT 基于有限元法,能提供综合全面的热仿真功能。这种有限元热传导和焦耳加热求解器可轻松处理热传导、对流和辐射效应,包括光生热和电生热效应,确保设计的稳定性和可靠性。
软件
Lumerical、Comsol、Fluent、Zemax等