总的来说sentaurus是一款非常强大的器件仿真的软件。
但对于初学者非常不友好
我目前涉及的也仅仅是sde和sdevice部分,这些为目前使用过后的经验分享。
SDE
这部分是用来画出器件结构、设置掺杂浓度、设置网格、定义电极等等
目前我只用到这四种,其他未知。
sde在画器件结构时默认的长度单位时um,因此在设置长度时要注意单位换算。
sde支持设置变量,且引用例如
在画器件结构时所使用的变量要在最开始进行定义,定义方式如上,且可以在外部设置多个值,使用@变量名称@来进行定义,如上图所示。
对于矩形和多边形以及各种形状可以在手册中查询代码,此处不做赘述。
注意!!!我们在写sde中加减乘除时,四则运算的符号应在最前面,例如(+ 1 2)即1+2=3
在进行负数相加减时,只有具体的数值前面可以直接加负号。例如(* -1 Tox)即-Tox,不可以直接写成-Tox。
在进行掺杂时,掺杂浓度也可以使用上述在外部设置变量的方法,且变量不用像上述一样进行定义,直接@变量@即可。
网格的设置关乎收敛性,但目前我没有进行研究。
在程序运行时,我们会经常遇到一些错误,sde中比较常见的是变量设置错误。
一般在节点无法运行时,双击节点,观察其.out或者.log文件,查询cmd部分运行到哪一步,到哪一步停止的,便可以查出错误。
SDevice
sdevice部分是对模型进行求解,此部分研究较少,但是在sentaurus中有许多例子库可以学习。