化学清洗过程中重金属污染的监测方法

最新推荐文章于 2022-07-09 00:08:52 发布

华林科纳123

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文章标签：趋势科技

本文链接：https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/123377454

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本文探讨了表面光电电压(SPV)技术在监测化学清洗过程中的应用，特别是针对重金属污染如铜和铁的监测。通过SPV方法，能够检测到铁表面污染低至1X109cm-2的水平，而该方法的检测限为2X108cm-2。研究还表明，SPV技术可以区分不同等级H202中1~13ppb的铁污染，有望实现1ppt级别的监测精度。该技术对于评估化学清洁度和监测设备污染具有重要意义。

摘要由CSDN通过智能技术生成

摘要

本文通过绘制少数载流子扩散长度、体中铁浓度和表面污染（表面电荷和表面重组），介绍了表面光电电压(SPV)在监测化学清洗和化学品纯度方面的应用。新的SPV方法和精密仪器的非接触性、晶片级的特性使该技术特别适合于重金属监测。该方法用于监测BHF中的铜污染，通过测量其对表面重组的影响，并通过其对整体重组的影响，快速热退火步骤用于驱动在清洗过程中沉积在表面的铁。铁表面污染测量到1X109cm-2水平，而该方法的检测限为2x108cm-2。不同等级的H202中不同的铁污染水平(1~13ppb)很容易区分。该程序应允许人们在1ppt水平上监测H202中的铁污染。进口化学品的清洁度并不总是一个限制因素，而且通常与使用点（在清洁站）的化学品的清洁度无关。

实验

在我们的实验中，我们使用RTA来驱动重金属，尽管炉退火也可以使用。之所以选择RTA，是因为它与传统的炉膛退火相比具有速度优势，而且RTA中的背景污染水平通常非常低，因为RTA是一个冷链系统。测定表面剩余铁浓度的典型程序如图所示。图中显示了由最先进的清洗过程留下的表面铁污染的一个例子。用该方法测量到的最低铁污染为1x109cm-2 (2 x1010cm-3)。目前，我们还不确定铁的