制造硅异质结太阳能电池的简化表面清洁

摘要

硅异质结(SHJ)太阳能电池结合了高转换效率、低热预算、短工艺流程、良好的低光性能和较低温度系数带来的更好的年产量的优点。为了制造硅异质结(SHJ)太阳能电池，氢化非晶硅层沉积在织构化的碳硅晶片的两侧。需要纹理衬底来增强光捕获。这些电池的高转换效率依赖于非晶硅层提供的优异表面钝化。因此，没有有机和金属杂质的完美光滑表面是SHJ电池制造中最重要的方面之一。

为了制造硅异质结(SHJ)太阳能电池，氢化非晶硅(a-Si:H)层沉积在织构化的c-Si晶片的每一侧。这些电池的高转换效率在很大程度上依赖于这些层提供的优异表面钝化。因此，一个完全干净的表面，没有有机和金属杂质，是制造SHJ电池的一个非常重要的方面。此外，对于未来的异质结结构，例如在钝化触点中使用金属氧化物，良好的表面质量控制将是重要的。本文研究了氢氧化钾随机金字塔纹理化后的湿化学清洗步骤。

实验

我们使用180微米厚，6英寸n型直拉c-Si <100 >晶片，电阻率为6Ω。厘米在氢氧化钾蚀刻溶液中形成纹理。使用酸性蚀刻工艺，或者通过单面蚀刻，使金字塔的顶端变圆。通过单面蚀刻(SSE)工具或在浴槽工艺中，之后进行脱色清洗。在整个实验中，一次准备一批100个有纹理的晶片。

清洗步骤之后，通过使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在晶片的两侧沉积7纳米厚的本征非晶硅：氢层。在沉积之后，立即使用寿命测试仪在瞬态模式下测量叠层的τeff。我们还重新测量了5天沉积后的寿命数据，τeff没有显示出任何退化，这意味着我们程序的结果相当稳定。

结果和讨论

为了了解每个清洁步骤对表面质量的影响以及它们在整个过程中的作用，我们分别测试了RCA1、RCA2和NAOS，仅结合HF和HF。与此同时&#