半导体设备：碳化硅气浮导轨

资深流水灯工程师

已于 2023-10-30 10:21:49 修改

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分类专栏：半导体文章标签：半导体设备

于 2023-10-30 10:14:40 首次发布

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博客介绍了碳化硅陶瓷气浮导轨。碳化硅陶瓷硬度仅次于金刚石、膨胀系数小、强度高，耐久性和精度好。气浮导轨为非接触式结构，有高直线度平面度指标，行程可达1m可定制，微动步距10nm，还有精密光栅尺闭环反馈和优化线缆管理系统。

摘要生成于 C知道，由 DeepSeek-R1 满血版支持，前往体验 >

碳化硅陶瓷气浮导轨

碳化硅陶瓷的特点：

1、硬度仅次于金刚石；耐久性更好；

2、膨胀系数小；精度更可靠；

3、强度高；

1、非接触式气浮导轨结构

2、高直线度平面度指标

3、行程可达 1m,可定制

4、微动步距 10nm

5、精密光栅尺闭环反馈

6、优化线缆管理系统

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