半导体设备：碳化硅气浮导轨

碳化硅陶瓷气浮导轨

碳化硅陶瓷的特点：

1、硬度仅次于金刚石；耐久性更好；

2、膨胀系数小；精度更可靠；

3、强度高；

1、非接触式气浮导轨结构

2、高直线度平面度指标

3、行程可达 1m,可定制

4、微动步距 10nm

5、精密光栅尺闭环反馈

6、优化线缆管理系统