辐照原位微区XPS
制造厂家:ULVAC-PHI
型号:PHI versoprobe 5000Ⅲ
服务能力:材料表面元素分析、深度剖析、微区分析、角分辨、高低温XPS、原位+紫外辐照XPS分析
服务特色:
1. 可测样品最大高度20mm左右,包括各种异形件,如球,刀片,头发丝极的细丝,圈等各种零件和试件。
2. 可进行微区测试,光斑最小直径7.5um,采谱面积10um至1300um,微区分析(空间分辨率优于10um,用同源X射线激发的SXI二次电子成像,保证图谱与所需测试区域的一致。
3. 可进行原位变温测试:温度范围:-150℃-800℃。
4. 可进行原位价带谱测试(波长范围:10-400,氘灯氙灯都有)。
5. 表面清洁:GCIB团簇离子枪,通过绝热膨胀和离化,使2000个Ar离子带一个电荷,在不破坏无机物的化学态条件下,实现对有机物的清洗和溅射功能。
6. 深度剖析:配有Ar离子枪,可进行溅射和深度剖析。刻蚀深度可达um级。