ose pse

 如图中所示,Gate A与GateB 周围POLY环境的不同便会导致PSE,65nm以下工艺,A和B参数差别会很大,加C作为DUMMY之后,B
和A周围POLY环境基本一致,参数也会较为接近。OSE原理也相近。
其实可以理解为扩散、注入等过程中,边缘浓度与中间会有很大的差别,所以需要周围加足够多的dummy,加的越多,中间器件的差别自然越小。

  • 2
    点赞
  • 7
    收藏
    觉得还不错? 一键收藏
  • 0
    评论
评论
添加红包

请填写红包祝福语或标题

红包个数最小为10个

红包金额最低5元

当前余额3.43前往充值 >
需支付:10.00
成就一亿技术人!
领取后你会自动成为博主和红包主的粉丝 规则
hope_wisdom
发出的红包
实付
使用余额支付
点击重新获取
扫码支付
钱包余额 0

抵扣说明:

1.余额是钱包充值的虚拟货币,按照1:1的比例进行支付金额的抵扣。
2.余额无法直接购买下载,可以购买VIP、付费专栏及课程。

余额充值