TSMC逻辑制程技术命名和发展

参考来源：

 

逻辑制程 - 台湾积体电路制造股份有限公司 (tsmc.com)

1、 TSMC逻辑制程发展路线图

2、从65nm到3nm制程技术发展的简介

2.1 65nm 制程

Y2005：成功试产65nm晶片；

Y2006：成功通过65nm制程技术的产品验证，推出了低耗电量（Low Power，LP）制程技术；

             推出65nm的泛用型（General Purpose，GP）制程；

提升：TSMC 65nm是第三代同时采用铜制程及低介电质技术，与前一世代的90nm制程技术相比，65nm制程技术的标准元件密度增为两倍。具备更高的整合性、更好的晶片效能，病拥有电源管理技术，能大幅降低耗电量。

2.2 40nm 制程

Y2008：40nm 量产；

提升：TSMC 40nm 泛用型（GP）及40nm 低耗电（LP）制程的晶片闸密度（Raw gate density）最多可达65nm制程技术的2.35倍。与65nm GP制程技术相较，在相同的漏电流水准下，40nm GP制程技术的效能增加幅度可达40%；在相同的运转速度情况下，其操作功耗减少幅度则可达50%。此外，与65nm LP制程相较，在相同的运转速度情况下，40nm LP制程技术的漏电流减少幅度可达51%，操作功耗减少幅度可达51%。

除上述制程外，还推出了40nm低耗电强效版（LP+）以及40nm超低耗电（ULP）等制程。与40nm LP制程相较， 40nm LP+制程的效能增加幅度可达30%；40nm ULP的漏电流减少幅度可达70%，操作功耗减少幅度可达30%。

应用：40nm GP制程技术适用于高效能的产品应用，例如中央处理器、绘图处理器、游戏机、网路、场域可程式化逻辑闸阵列（FPGA）以及硬碟驱动晶片等产品应用；40nm LP及40nm LP+制程则适用于智慧型手机、数位电视（DTV）、机上盒（STB）、游戏晶片及无线网路连接产品等应用；40nm ULP制程适用于物联网及穿戴式装置相关产品应用。

2.3 28nm 制程

Y2011：推出28nm GP制程技术。

提升：28nm 制程技术以采用高介电层／金属闸极（High-k Metal Gate，HKMG）的后闸极（Gate-last）技术为主。相较于前闸极（Gate-first）技术，后闸极技术具备较低的漏电流以及能提供更佳的晶片效能等优势。

应用：具备高效能、低功耗等优势，并与TSMC 28nm 的设计生态环境无缝接轨，以协助客户加速产品上市时间，能够支援客户包括中央处理器、图像处理器、高速网路晶片、智慧型手机、应用处理器（AP）、平板电脑、家庭娱乐、数位消费性电子产品、车用装置及物联网等产品应用。

2.4 22nm 制程

Y2018 Q4：完成验证。

提升：与28nm 高效能精简型制程技术（28nm High Performance Compact，28HPC）相较，22ULP技术拥有晶片面积缩小10%，及效能提升超过30%或功耗降低超过30%的优势，以满足影像处理器、数位电视、机上盒、智慧型手机及消费性产品等应用。

22nm 超低漏电制程技术（22nm Ultra-Low Leakage, 22ULL）已顺利完成开发并于2018年第四季按计划开始试产，能够支援物联网及穿戴式装置相关产品应用。与40nm ULP及55nm ULP制程相较，新的ULL元件和ULL静态随机存取记忆体（Static Random Access Memory, SRAM）可以大幅降低功耗。

2.5 16/12 nm 制程

Y2013M11：成功试产16nm FinFET（Fin Field Effect Transistor，鳍式场效应晶体管）制程技术。

Y2014：16nm 量产。

Y2015M7：16nm FinFET强效版制程（16FF+）量产。

Y2016Q1：更具成本效益的16nm 精简型制程技术（16nm FinFET Compact Technology，16FFC）量产。

Y2017Q2：进一步提升晶体密度的12nm 精简型制程技术（12nm FinFET Compact Technology，12FFC）进入生产。

提升和应用：16/12nm 速度增快 50% ，在相同速度下功耗降低60%，能够协助客户达到最佳效能与功耗，成功支援下一世代高阶行动运算、网路通讯、消费性产品以及车用电子产品的应用。

2.6 7nm 制程

Y2016M6：成功产出良率达2位数的256Mb的SRAM。

Y2017M4：试产。

Y2018M8：第二代7nm （N7+）开始试产，是业界第一个商用EUV制程技术。

Y2020Q1：预计试产6nm（N6）制程技术。

提升：相较于10nm FinFET制程技术，7nm FinFET制程技术在逻辑闸密度（Logic Density）提高1.6倍，速度增快约20%，功耗降低约40%。

应用：支援多样化的产品应用，包括高阶到中阶行动产品、消费性应用、人工智慧、网通、5G基础架构、绘图处理器、以及高效能运算。

2.7 5nm 制程

Y2020Q2：成功量产5nm（N5）鳍式场效应晶体管。

提升：相较于7奈米（N7）技术，N5技术速度增快约20%，或者功耗降低约40%。

Y2022：预推出N5的强化版--4nm（N4）技术。

2.8 3nm 制程

Y2022H2：预量产3nm （N3）。

提升：相较于N5制程技术，N3制程技术的逻辑密度将增加约70%，在相同功耗下速度提升10-15%，或者在相同速度下功耗降低25-30%。