薄膜干涉数据处理

首先记录一下关键变量, Absolute_phases为绝对相位差(就是上张图片和下张图片之间的相位差),min_xiangweicha 为最小绝对相位差,sum_total_xiangweicha为最小相位差总和(计算线性)。数据处理分为有无跨条纹两个过程,首先是无跨条纹的时候

将最小绝对相位差放在A列,最小相位差总和放在B列,彩色共聚焦数据放在C列,用B,C列拟合出一条直线(薄膜干涉测量点和彩色共聚焦测量点若共线最直接的反应就是将产生一条线性非常好的拟合线)

通过图获得直线的拟合方程,再将B代入X中,生成的Y作为D列,D列数据便是薄膜干涉所得到的表面形貌误差。最后用彩色共聚焦的数据(C)减去薄膜干涉所测得的数据(D)便为平晶最终的形貌数据(E),最终形貌数据通过与位移台数据结合最终得到形貌图,如图所示:

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