这张图分为四部分,描述了金属-半导体接触的物理特性,包括肖特基势垒的形成、能带弯曲、电荷密度分布和电场分布。
(a) 金属与半导体未接触时的能级结构
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描述:
- 左侧是金属的能带结构,右侧是半导体的能带结构。
- 关键能级:
- E F E_F EF:费米能级,表示系统中的电子化学势。
- q ϕ m q\phi_m qϕm:金属的功函数,表示费米能级 E F E_F EF 到真空能级之间的能量差。
- q ϕ s q\phi_s qϕs:半导体的功函数,表示半导体费米能级到真空能级之间的能量差。
- q χ q\chi qχ:半导体的电子亲和能,导带底部 E C E_C EC 到真空能级之间的能量差。
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解释:
- 此时,金属和半导体处于分离状态,费米能级未对齐。
- 在接触前,金属和半导体各自的电子能级相互独立。
(b) 金属与半导体接触后的能带结构
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描述:
- 费米能级 E F E_F EF 在接触后会趋于对齐,系统达到热平衡。
- 由于金属和半导体的功函数不同,导致电子从费米能级较高的一侧向较低的一侧流动。
- 形成肖特基势垒 q ϕ B n q\phi_{Bn} qϕBn,其大小为:
q ϕ B n = q ( ϕ m − χ ) q\phi_{Bn} = q(\phi_m - \chi)