金属-半导体接触中的能带、势垒和电荷分布

这张图分为四部分,描述了金属-半导体接触的物理特性,包括肖特基势垒的形成、能带弯曲、电荷密度分布和电场分布。


在这里插入图片描述

(a) 金属与半导体未接触时的能级结构

  1. 描述

    • 左侧是金属的能带结构,右侧是半导体的能带结构。
    • 关键能级:
      • E F E_F EF:费米能级,表示系统中的电子化学势。
      • q ϕ m q\phi_m qϕm:金属的功函数,表示费米能级 E F E_F EF 到真空能级之间的能量差。
      • q ϕ s q\phi_s qϕs:半导体的功函数,表示半导体费米能级到真空能级之间的能量差。
      • q χ q\chi qχ:半导体的电子亲和能,导带底部 E C E_C EC 到真空能级之间的能量差。
  2. 解释

    • 此时,金属和半导体处于分离状态,费米能级未对齐。
    • 在接触前,金属和半导体各自的电子能级相互独立。

(b) 金属与半导体接触后的能带结构

  1. 描述

    • 费米能级 E F E_F EF 在接触后会趋于对齐,系统达到热平衡
    • 由于金属和半导体的功函数不同,导致电子从费米能级较高的一侧向较低的一侧流动。
    • 形成肖特基势垒 q ϕ B n q\phi_{Bn} qϕBn,其大小为:
      q ϕ B n = q ( ϕ m − χ ) q\phi_{Bn} = q(\phi_m - \chi)
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