光刻技术_中科院5nm激光光刻技术到底是什么？

这几天，媒体上超嗨的一条，就是中科院5nm激光光刻技术突破，下面量子菌给你专业解读这篇论文。

本来这篇研究论文，是微纳加工领域里的一个进展，实验室研究，和工业界没啥关系，谁知道题目里的“lighography” 一下子挠到了某些媒体的某点。

“lighography”这个词就是光刻的意思，看到光刻，他们就联想到光刻机，看到5nm，就联想到台积电的5nm 芯片制程，结果新闻就开始走样了，成了中科院弯道超车，荷兰ASML吓傻了。

其实这篇文章谈到的主要是超高精度的无掩模的激光直接刻写，这个和芯片加工那个光刻机说没关系吧，都是微纳加工的手段。

说有关系吧，光刻机是商业制造芯片，这个激光光刻目前只能在实验室里刻点沟沟道道，写个图案玩，离工业应用还十万八千里。

下面，量子菌就带大家粗略的读读这篇纳米神刊Nano letters的文章。

其实搞纳米的都知道，发在这个NL杂志上，就意味着离实际应用还很远远，我们文章末尾都会写，本论文的研究在xxx领域有潜在的应用，有望xxxx。

Nano letters

来到Nano letters的网站上，来看中国科学院苏州纳米所 Nano Letters的这篇研究论文。