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日本光学技术
在科技领域,光刻机从来都是最顶尖的神话,很多科学家,工程师能够参与高端光刻机的设计和制造,就已经代表其在业内的顶尖水准了。一台光刻机能够被制造出来,需要十万个零部件,各种精密的仪器都至关重要。
业内有工程师透露,高端光刻机一个零部件的调试就需要花费十年时间,核心子系统更是需要各国顶尖的大公司才能提供。比如较为重要的光学技术几乎都被日本企业所把控。
说起光刻机的原理其实也很简单,就和照相机一样,通过曝光的方式把设计好的芯片电路图成像在硅基晶圆上,最后用光来雕刻芯片电路图。因此在光学技术上有较大优势的日本,在光刻机领域其实是有很大话语权的。
比如日本的佳能,尼康都是光刻机市场的大佬,曾经的荷兰ASML公司,在他们面前只能算小弟。因为光刻机和照相机有同样的原理,所以尼康和佳能也是业内十分出色的相机巨头。
而高端光刻机主要指EUV光刻机,EUV的极紫外光波长为10-14纳米,用这类光源作为光刻技术,是生产5nm芯片必要的设备。没有EUV光刻机,世界上一颗高端芯片都生产不出来。
日本光学技术全球第一,也因此诞生了佳能和尼康这样的巨头,可是为什么高端光刻机只有荷兰能造?
荷兰ASML能造高端光刻机的原因
全球也只有荷兰ASML这一家公司能造高端光刻机,按理说日本掌握了非常重要的光学技术,可为什么只有荷兰能造?原因主要有两点。
第一点:光学技术很重要,但不是关键。一台EUV光刻机会用到多达十万个零部件,涉及物理学、光学、数学、流体力学、表面物理与化学、自动化、精密仪器等等。任何一个技术都很重要,并不是说掌握一项技术就具备制造高端光刻机的能力。
纵使日本光学技术世界第一,也只是拥有其中一项技术的条件而已。虽然很重要,但不是关键。关键在于如何在所有重要的技术都集中在一起,ASML做到了。
ASML集合了全世界高端工艺技术,有90%的先进零部件都来自欧美国家。正是因为ASML把所有关键技术都用在了一起,才能生产出高端光刻机。
其实也可以理解为高端光刻机并不是ASML一家企业造的,而是世界各国一起出力,一起提供资源,才造就一台高端光刻机。
第二点:ASML抓住了机会
成立于1984年的ASML最初只是一家濒临破产的小公司,坐落于飞利浦大厦外垃圾桶旁。当时的GCA还是光刻机领域大佬,日本的佳能和尼康势头正猛,和他们相比,ASML根本不值一提。
在一个简陋的厂房里,只有47名员工,但是ASML有着凌云壮志,并表示要做第一。就在大家都以为ASML疯了的时候,ASML抓住了机会,这个机会让ASML从此一飞冲天,连续超越尼康和佳能,打破业内光刻机技术的限制,一步步成为世界第一,并且为打造高端光刻机打下基础。
这个机会来自于台积电林本坚,当时整个半导体行业都遇上了难题,光刻机光源被卡在了193nm。尼康和佳能都决定采用老办法,强行压缩光源到157nm。
时任台积电研发副经理的林本坚提出了浸没式光刻法,可以把193nm变为132nm。然而林本坚提出的浸没式光刻法不受人待见,只有ASML在浸没式光刻法看到了机会。于是ASML选择了浸润式技术,事实证明,ASML的选择是对的。
从此以后ASML和台积电结下了不解之缘,ASML在抓住机会后,也在后来造出了力压尼康和佳能的光刻机。
这是首次超越光刻机两大巨头,ASML也越加强大,直到造出第一台EUV光刻机,此后ASML已经彻底垄断高端光刻机市场。
总结
一次机会有多么重要?可能就是ASML抓住这个机会,从此成为光刻机世界第一巨头,也和台积电结下深厚的友谊。每次生产的EUV光刻机都能优先提供给台积电,再看日本尼康和佳能,已经从昔日的大佬,沦为了小弟。
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