在CMOS集成电路中,闩锁效应不容忽视。这篇文章将从0开始给大家介绍闩锁效应(Latch-up),以及有效抑制闩锁效应的方法。
一、背景知识
(1)双极结型晶体管(Bipolar Junction Transistor—BJT)
图1展示了典型的NPN型BJT。我们以此为例展开分析。
BJT工作时多子和少子都参与运行,因此成为双极型晶体管,BJT为三端器件,包括:基极(Base)、集电极(Collector)和发射极(Emitter)。其中集电区和基区之间有集电结,发射区和基区之间有发射结。在制造工艺上,发射区掺杂浓度最高,用于发射载流子;基区很薄,而且掺杂浓度最低,一般为几微米到几十微米,用于传送和控制载流子;集电区掺杂浓度低于发射区,且面积大,用于收集载流子。
BJT本质是电流放大器件,用很小的基极电流