在整个IC行业中,mos管的使用是很常见且基础的,相比于BJT三极管,mos管更易集成,功耗更低,但驱动能力没有BJT好。在超大规模集成电路里,mos管是作为核心器件和主流器件,也是重要的功率器件。在理解整个mos管工作原理之前,理应理解mos管的结构(这一点是更重要的,因为会涉及到许多寄生器件,后期会讲到的),器件的结构决定性质,有好的也有不理想的相互牵制(这一点我在工作之中受益匪浅)。什么是MOSFET?是metal oxide semiconductor field effect transistor,金属-氧化物-半导体场效应晶体管。如图1所示,MOSFET的透视图(直接套用教材的图,非诚勿扰🙊。是考验大家的想象力的时候了,考研必考,也可以去某🆎站上看动态图),
图1
在整个基本工艺上的话大致是这样的一个过程:以NMOS管为例,在P型硅上生长出一层致密的二氧化硅(PMOS管在N型硅上做,原因是因为这样才可以形成强反型层,达到开断的效果,同时减小寄生效应);光刻磷扩散窗口;磷扩散生成两个N+区(离子注入),形成源极(source)和漏&