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在晶圆制作完成后,会出货给封装厂,封装厂再将一粒粒的芯片封装起来。我这里所说的传统封装是指以打线为主的封装方式,比如DIP,QFP,SOP,QFN等,不包括倒装。这里就简单介绍一下传统封装的工艺流程及工艺特点。
1,晶圆减薄(Grind)
随着晶圆直径的增加,其厚度也相应增加。4inch晶圆一般厚度为525um,6寸为625um,8寸775um,12寸925um。过厚的芯片不仅不利于散热,还会导致封装尺寸过大。因此需要将晶圆减薄到50-200um。
晶圆减薄技术主要有:机械切削,化学机械抛光(cmp),湿法刻蚀,干法刻蚀等。
2,划片切割(Dicing)
它将一个大的晶圆切割成许多单独的小块,每个小块是一个“芯片”(Chip,die),这些芯片是单个集成电路的基本单位。目前比较常见的划片方式有三种:刀片切割,激光切割,等离子切割等。