什么是金属氧化物（MOX）气体传感器

MOX气体传感器是一种以多芯片组件（MCM）形式制造的MEMS器件（微机电系统）。MCM的基本组件是在晶片上预先测试的微控制器专用集成电路（ASIC）和本测试应用的对象传感器。这些组件被放置在一个共同的基板上，一个盖子被放置在组件上，盖子上有一个小孔或网格，允许气体进入传感器。

该传感器由一个小型加热元件组成，该加热元件容纳在涂有专有金属氧化物材料的薄膜下。MOX材料是可变电阻器，可对所接触的气体中的化学物质做出响应。MOX可以制定为对某些类型或类别的气体（称为目标气体）做出不同的响应。在“干净”空气的环境中，MOX的电阻可能为数兆欧。当加热时，在目标气体的存在下，MOX材料的电阻显着下降，降至数十千欧。当去除热量施加和/或消除测试气体时，MOX电阻返回其先前值。

通过施加受控的热量，在存在清洁空气的情况下测量MOX涂层的电阻，然后在空气中以受控量的目标气体测量MOX涂层的电阻（以百万分之一为单位） ，这两个测量值的比率可用于校准设备。在实际操作中，经过校准的MOX电阻测量值指示环境中目标气体的密度。