集成电路(Integrated Circuit,IC)的设计制造流程主要包括以下几步:电路设计、晶圆制造、晶圆测试、封装、封装后测试。
与一般的制造类似,生产出来的产品都需要经过检测,只有合格品才能够进行批量出货,ATE测试在这里便起到了至关重要的作用。
ATE(Automatic Test Equipment),在半导体领域指自动测试机。它就相当于质量检查官,通过程序与硬件资源的相结合,它能够实现对IC的相关性能参数的量测,只有所有参数都满足要求,才能作为合格品。
ATE测试分为两大部分:CP(Chip Probing)和FT(Final Test),
1. 这两个测试的阶段不同:CP测试是晶圆级测试,是对晶圆(Wafer)上的管芯(Die)进行测试;FT是在晶圆切割封装后进行的测试。(当然也有些特殊情况,比如WLCSP封装,它的FT测试就是在Wafer上测试的,因为WLCSP是先植球,再FT测试,最后再切割)。
2. 使用到的设备不同:对于ATE测试来说,最重要的两个大设备就是测试机和分选机(探针台)。对于CP,使用的就是探针台;对于FT,使用的则是分选机,简单来说分选机执行了芯片运输和分拣的工作,它能够根据测试机的测试结果,将芯片进行分类。