TOF-SIMS测试常见的问题及解答（二）

在做TOF-SIMS测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对此项目不太了解，针对此，科学指南针检测平台组织相关同事对TOF-SIMS测试进行问题收集并整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

1.成分些微改性需要一点点对两个谱峰以解谱吗？

回复：些微改性，图谱上应该有变化，比如谱峰的出峰位置（离子不同，对应质量数不同），或谱峰峰强比会有变化；具体情况具体分析；

2.电池锂负极测试怎么处理？

回复：手套箱里拆出来剪小，通过样品传送管制备样品以及保护传送样品；

3.如何进行质谱分析呢？软件是专用的？

回复：软件是专用的；

4.老师好，肝脏组织如何制样放进去？

回复：储存在冷冻条件下。采用冷冻显微薄片切片机在冷冻条件下制备截面样品，解冻固定在导电（ITO）玻片上并储存在 -80°C条件下，直到分析。分析前约15分钟，组织部分干燥，并放入干燥器中至常温。

5.氢含量较高可以分析吗？

回复：可以分析

6.怎么确定界面的位置呀？

回复：两层采用其特征离子表征，看深度曲线的变化，曲线强度值拐点最高到最低的范围，20%-80%之间都可以设定为界面的位置。

7.膜层H的含量分布可以测吗？

回复：可以；

8.解离之后的碎片不会再重新组合吗？

回复：有重新组合的离子碎片；

9.老师，我的问题：在测试表面氧化的金属合金过程中，需要提前提供什么信息吗？比如元素或者化合态吗？

回复：能提供越多的样品信息越好，比如关注哪种金属离子和金属氧化物，分析的时候可以有针对性识别，但TOF可以分析未知无机成分；

之前说需要提供分子片段，想问下啥是分子片段？合金也有分子片段吗？

主要是指分子离子, 比如：Fe/FeO, Fe2O, FeO2等等；

10.能不能再讲讲SSMIS和DSIMS的区别？

回复：请看视频回放，谢谢；

11.可以测试si中参杂的o不？

回复：含量在ppt-ppb范围内用D-SIMS测试，含量在ppm范围内可以用TOF-SIMS测试；

12.老师，不锈钢材料FIB最大可挖多少um；

回复：不同设备FIB的能力不同，通常10微米以上应该是没问题的；

13.TOF溅射掉的每一层厚度约多少，或者说没1秒跳过的厚度怎么确定？

回复：不同溅射条件（离子源能量，溅射时间等）对应不同的溅射厚度，最小可以小于1nm；可以测试标准样品得到溅射速率（每秒溅射多厚）或采用轮廓仪等进行深度测试，计算溅射速率；

14.PI产生SI后再飞行过程中会重新组合吗，组合的话，一般多大和多大的分子组合？

回复：会组合，但与出射二次离子，基体效应等都有关系，不是绝对的规律性；不能一概而论；TOF-SIMS图谱确实比较复杂；

15.SIMS、EDS不锈钢中C含量准确性差别？

回复：EDS可以半定量，但EDS不适合原子序数低的元素定量；SIMS定量需要标样定量法，常规测试得不到含量值；

16.样品表面是不是还是需要基本平整？

回复：最好平整，如果粗糙度大，高度差尽量不要超过150微米；

17.从碎片怎么确定成分如Au2SO3？

回复：分别采集正负离子图谱，Au在正负离子模式下都有明显的产额，伴随Aux 团簇离子；SOx主要在负离子模式下产额高，S/SO/SO2/SO3这些离子都会出现，AuxSy 或AuxSOy这种离子也会出现；

18.老师，您那边是德国的ION-tof 吗？

回复：指南针平台有德国ION-TOF的资源以及PHI NANOTOF的资源；两种型号的设备能力都可以满足TOF-SIMS的分析能力；

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