测试干货 | 从原理到应用解读球差电镜测试

1.什么是球差电镜？

要理解球差电镜，首先需要明白什么是“球差”。

想象你用一个放大镜聚焦阳光，想点燃一张纸。如果放大镜完美无瑕，所有光线都会汇聚到一个点，纸很快就会燃烧。但现实中，放大镜存在缺陷，光线会散开，形成一个模糊的光斑，无法精确聚焦。这种缺陷就是球差。

在电子显微镜中，电子束通过电磁透镜聚焦时也会遇到类似的问题。电磁透镜的球差导致电子束无法聚焦到一个理想的点，而是形成一个弥散圆，从而限制了分辨率。传统电子显微镜受限于球差，其分辨率通常停留在1-2纳米左右，难以看清更小的细节。

球差校正的原理： 球差电镜的关键在于它配备了球差校正器。这个校正器由一组复杂的多极透镜（例如四极透镜、六极透镜）组成，能够产生与球差相反的像差效应。通过精确调节这些透镜，校正器可以“抵消”电磁透镜的球差，使电子束重新聚焦到一个更小的点，从而大幅提高分辨率。

球差电镜的分类： 球差电镜主要分为两种类型：

TEM球差校正电镜：应用于透射电子显微镜（TEM）模式，主要校正物镜的球差，用于生成高质量的高分辨图像。

STEM球差校正电镜：应用于扫描透射电子显微镜（STEM）模式，校正电子探针的球差，使扫描图像更加精细。

可查看往期文章中测试相关送样要求和常见问题：高端测试 | 球差校正透射电子显微镜（AC-TEM）测