一种含有NBL的N型低压LDMOS多元胞结构图: 简化结构及有限元仿真网格: 工艺动态流程: 基本电学特性仿真(参数未完全优化): a) 击穿电压仿真结果(BV=29V): 电势(pink)电流(black)分布: