书籍:《炬丰科技-半导体工艺》
文章:90nm钛腐蚀后清洗技术
编号:JFKJ-21-281
作者:炬丰科技
介绍
负偏置温度不稳定性已成为深亚微米技术的主要可靠性问题之一。提高NBTI寿命的方法之一是采用Ti-TiN双层局部互连。然而,由于亚四分之一微米技术采用了无边界或零封闭接触设计规则,在蚀刻后,与Ti-TiN金属线连接的底层接触表面在湿清洗时,会暴露在化学溶液中。这将导致Ti层(电化学反应中的阳极)去除后接触电阻增大,并导致排序失败。用PH为其他类型溶剂替换EKC 265可以抑制这种电化学腐蚀反应,但由于增加了成本和化学品分配系统的复杂性,在成熟的生产环境中很难做到这一点。
略