《炬丰科技-半导体工艺》--技术资料合集36

该技术资料合集详细探讨了半导体工艺的多个方面,包括湿式热氧化GaN的构成、碳化硅半导体衬底、晶片清洗工艺、磷化铟纳米管的合成、晶圆级封装的可靠性分析等。涵盖了从材料性质、器件制造到封装技术的广泛内容,尤其关注磷化铟的光子特性及其在微纳米器件和光子电路中的应用。
摘要由CSDN通过智能技术生成

一:湿式热氧化GaN构成

二:平面碳化硅半导体衬底

三:晶片清洗工艺评估

四:磷化铟纳米管的合成》<

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