《炬丰科技-半导体工艺》玻璃的超声波精密清洗及其评价方法

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》
文章：玻璃的超声波精密清洗及其评价方法
编号：JFHL-21-1058
作者：炬丰科技

引言

近年来，应用超声波的精密清洗法被用于光学透镜、液晶用玻璃板、半导体晶圆等的清洗。 本文概述了超声波精密清洗法和玻璃表面的清洗度评价方法。

超声波的发生法

超声波也可以通过流体空洞内的共振和机械快门引起的流体断续（警报器）得到，现在主要使用的产生方法是，如图1所示，首先通过振荡器产生电振动能，将其加入到被称为振动子的电声转换器中，转换成机械振动能，向与该振动子接触的音响传递介质中辐射超声波的方法。

超音波精密洗浄方法

作为光学透镜、玻璃板、液晶用玻璃板等的清洗，以及半导体晶圆、玻璃掩膜等的清洗，近年来在精密清洗领域使用了应用超声波的多槽式清洗系统。作为编入清洗系统的装置，有手动进给式和自动进给方式。清洗装置的系统因其被清洗物的清洗目的不同而不同，作为光学透镜、玻璃板等多槽式清洗工序，表2～4工序使用最多。 另外，外观如照片1所示。