阈值电压:
定义(nmos):界面电子浓度等于衬底多子浓度时的栅压。
耗尽层到反型层(以nmos为例):当Vgs比较小时,衬底中的电子会被吸入氧化层下与空穴复合,直到氧化层下的大部分空穴都被负荷,形成负离子区,以镜像栅上的电荷,即耗尽层,当再增大Vgs时,即使全部的空穴都被复合完,即是纯负离子区,仍不能与栅极电荷镜像,故氧化层下就会形成一层电子层,即反型层形成。
当衬底掺杂浓度增大时,从以上分析可知,纯的负离子区可以镜像更多的栅电荷,故阈值电压增大。
当温度升高时,
器件制造过程中通常向沟道区注入杂志来调整阈值电压,其实质是改变氧化层界面附近衬底的掺杂浓度。
体效应:
Vb下降,Vb变得更负,将有更多的空穴被吸引到衬底电极,而同时留下大量的负电荷,耗尽层变得更宽,在反型层形成之前,栅极电荷必定镜像Qd(耗尽层负电荷),故阈值电压是耗尽层电荷总数的函数,所有Vb下降,Qd增加, 也增加。
在要求低阈值电压的电路中,可以通过衬底偏置来降低。
沟道长度调制效应:
,沟道长度调制系数,表示给定的
增量所引起的沟道长度的相对变化量,因此,沟道长度L越长,
越小。
沟道越短,沟道长度调制效应越显著,长沟道可以减少沟道长度调制效应。
加倍L,则 减小为1/4, 但同时电流也会变为一半,增大W为2倍使电流恢复,
变为2倍,故W,和L都增大为2倍,电流不变,沟道长度调制效应减为一半。
亚阈值导电性:
指数关系。即使减为0,Id也不会减为0