Nature | 高速和大规模的本征可拉伸集成电路（柔性半导体器件/柔性电子）

美国斯坦福大学鲍哲南（Zhenan Bao）院士团队，在《Nature 》上发布了一篇题为“High-speed and large-scale intrinsically stretchable integrated circuits”的论文。论文内容如下：

一、 摘要

        具有皮肤般机械性能的本征可拉伸电子已被确定为一种具有前景的平台，可用于从连续生理监测到实时健康状况分析，再到自主医疗治疗的新兴应用。然而，当前技术电气性能仅能达到非晶硅水平（即载流子迁移率约为1 cm2 V(−1) s(−1)），面临低集成规模和功能局限的挑战。在这里，作者提出了具有高驱动能力、高运行速度和大规模集成的高密度、本征可拉伸的晶体管和集成电路。它们是通过在材料、制备工艺设计、器件工程和电路设计方面的创新组合而实现的。该本征可拉伸晶体管在100%应变下的平均场效迁移率超过20 cm2 V(−1) s(−1)，器件密度为每平方厘米100,000个晶体管（包括互连器件），并在5 V供电电压下具有约2 μA μm−1的高驱动电流。值得注意的是，这些实现的参数与最先进的基于金属氧化物、碳纳米管和多晶硅材料在塑料基板上的柔性晶体管相当。此外，作者首次在本征可拉伸电子器件中实现了具有超过1,000个晶体管和阶段切换频率大于1 MHz的大规模集成电路。 最后，作者展示了一个高吞量的盲文识别系统，它超越了人类皮肤感知能力，该系统由具有创纪录每平方厘米2500个单元的高密度有源矩阵触觉传感器阵列和具有60 Hz高刷新速度和优异机械稳定性的发光二极管显示器实现。上述器件性能的进步大大提高了类皮肤电子的能力。

二、背景介绍

        与人体紧密融合的类皮肤电子设备将实现舒适、大规模和高保真度的生理监测，实时分析健康状况，局部治疗，假肢的感觉运动功能重建以及增强现实。为了实现设备的贴合度和可拉伸性，研究人员已经探索了三种不同的方法：（1）结构工程，如屈曲，褶皱或剪纸结构；（2）通过有源元件与可拉伸导体相互连接实现；（3）本征可拉伸电子设备。其中，本征可拉伸电子设备具有即使在运动和尺寸变化时也能与人体组织保持紧密结合的独特优势，因此成为人机界面、可穿戴设备和可植入设备的理想选择。

三、图文导读

        为了实现先进的类皮肤电子产品所需的传感、数据处理和驱动功能，需要开发高性能的本征可拉伸晶体管和大规模集成电路（图1a）。目前类皮肤电子设备只能实现基本功能，如使用有限数量的输出端口进行缓慢的信号处理。作者通过在材料、制备工艺、器件工程和电路设计方面的创新，实现了具有高电驱动能力和高运行速度的本征可拉伸电子器件，并且具有高晶体管密度的大规模电路集成（见图1b-e）。欲深入了解，请详阅原文。

图1 本征可拉伸的高性能类皮肤电子器件。 a、示意图说明本征可拉伸的晶体管和电路在电子皮肤应用中的核心作用和高性能要求。 b、高性能的本征可拉伸电子器件的三维图。 c、在4英寸晶圆上制备的