有关Silvaco Altas器件仿真中,相关物理模型的梳理

        本学期有课程,学习Silvaco Altas进行器件仿真。故在此记录学习心得。

1. 引言

        由下图可知,使用Silvaco Altas进行器件仿真共有五个步骤,分别为:定义结构、定义材料和模型、选择求解方法、求解描述、结果分析。

        我在阅读Diode-04例程感到疑惑。由于SiC并不是一个熟悉的材料,对各种材料参数的定义便不可逃避。同时,温度在本例程中是主要因素,模型中需要引入温度依赖的模型参数。因此,对于这些模型的条理和顺序,我不甚清楚。

        故想要通过这篇文章,梳理第二步骤,Material Models Specification。

2. 模型定义

2.1 概述

        Atlas-users1手册中,章节3.6 physical models定义了多种物理模型。在本学期课程中,比较常用的有:

  • Mobility Modeling, 迁移率模型
  • Carrier Generation-Recombination Models, 载流子产生复合模型
  • Impact Ionization Models, 碰撞离化模型
  • Band-to-Band Tunneling, 能带隧穿模型

2.2 迁移率模型

2.3 载流子产生-复合模型

2.4 碰撞离化模型

3. 部分常用模型

3.1 迁移率模型(CONMOD, FLDMOD & CVT)

  • CONMOD, 描述载流子迁移率与掺杂浓度的依赖关系;
  • FLDMOD , 描述载流子迁移率与平行电场的依赖关系;
  • CVT,反型层中载流子模型;综合考量横向电场、掺杂浓度、温度对载流子迁移率影响;
               在迁移率模型中具有最高优先级;

3.2 载流子产生-复合模型

3.2.1 SRH综合模型(SRH, CONSRH)

  • SRH, Shockley-Read-Hall (SRH) Recombination 
  • CONSRH, SRH Concentration-Dependent Lifetime Model

3.2.2 俄歇复合模型(AUGER, KLAAUG)

  • AUGER, Standard Auger Model
  • Klaassen’s Temperature-Dependent Auger Model

3.3 碰撞离化模型

  • SELB, Selberherr’s Impact Ionization Model

  • GRANT, Grant’s Impact Ionization Model

  • COWELL, Crowell-Sze Impact Ionization Model

3.4 能带模型

  • The Universal Energy Bandgap Model,描述能带与温度的依赖关系;
  • Passler's Model for Temperature Dependent Bandgap,同样描述能带与温度的依赖关系;
  • Bandgap Narrowing,能带变窄理论。重掺杂导致能带变窄。

3.5 Physical Models for MOSFETs, BJTs

        对于初学者而言,Silvaco对于MOS、BJT提供了整合模型。

4.总结

       Silvaco Altas用户手册中,定义了诸多物理模型。以此文章为例,我尝试理解并梳理一些常用的物理模型,以帮助我理解例程中的器件仿真。

        不过显然还需要继续学习,用户手册的文字对我而言仅仅是文字,我无法联系到文字背后的意义。我希望能够回答这两个问题:

  1. 本次器件仿真,需要使用哪些物理模型?
  2. 考虑到某些因素(如温度、掺杂浓度等),又需要引入哪些模型参数以修正?
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