在R蓝宝石衬底上沉积(1120)ZnO薄膜激发的表面声波特性

研究背景

作为一种多功能材料，ZnO薄膜已被广泛研究用于各种应用，如透明电极、太阳能电池、气体传感器的传感材料等。值得注意的是，ZnO具有优越的压电性、更高的机电耦合系数和较低的介电常数。同时，ZnO薄膜的化学计量比例和晶体结构可以容易地控制[1]，因此它是用于SAW和BAW器件的最优化薄膜之一。有报道指出，(1120)纹理ZnO压电薄膜可以激发纯剪切模波[2]，[3]，由于正常位移的消失和缺乏与液体介质的弹性耦合以引起辐射损失[3]，这些剪切模波具有在液体和生物传感器中的潜在应用。此外，ZnO是生物安全的，适合于生物医学应用，可以在没有毒性效应的情况下固定和修饰生物分子[4]。

研究主旨

本文研究了在R蓝宝石衬底上通过射频磁控溅射技术沉积的(1120)纹理ZnO薄膜的表面声波(SAW)特性。研究了沉积条件对薄膜性能的影响，并通过实验和理论分析，探讨了不同传播方向下SAW的特性，包括Rayleigh波和Love波的相速度和机电耦合因子。结果显示，实验和理论结果吻合良好，证实了该层状结构在高频SAW设备上的应用潜力。

研究特点

通过射频磁控溅射在R蓝宝石衬底上沉积了(1120)纹理ZnO薄膜，并研究了沉积条件对ZnO薄膜的影响。利用X射线光电子能谱表征了ZnO薄膜的化学成分，结果表明，在溅射气体中氧浓度增加时，晶格氧与锌的比例增加，这证明了ZnO薄膜晶体结构的改善。为了研究由(1120)纹理ZnO薄膜激发的表面声波特性，基于(1120)ZnO薄膜/R蓝宝石衬底的层状结构的SAW延迟线被制造出来，其中Rayleigh和Love模式分别沿ZnO薄膜的(0001)和(1100)方向激发。相速度和两种波模式的机电耦合因子作为薄膜厚度与波长比的函数进行表征。使用转移矩阵方法计算了层状结构的声学性质。实验和理论结果彼此吻合良好。

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