vt_group report阅读——SVT,LVT,ULVT等简介

这里的Vt是MOS管阈值电压,当栅源电压(Vgs)逐渐增大到MOS管沟道形成反型层时,对应的电压值就是该MOS管的阈值电压。以N沟道增强型MOSFET为例,具体解释为:

在这里插入图片描述
Vg栅极(gate)电压为负时,P型半导体内的正电荷(空穴,多数载流子)在靠近栅极的表面很薄一层大量汇集,但这不是MOSFET工作状况,不作讨论。

Vg电压为正,但比较小,没有超过阈值电压。栅极的正电荷排斥衬底中的空穴,留下了带负电的掺杂离子,此时没有可自由移动的电荷,没有导电通道。

Vg超过阈值电压后,半导体表面累积了可移动的载流子电荷,形成反型层导电沟道(电子代替空穴成为多数载流子,所以称为反型)。

代工厂会提供多种阈值电压值的单元库。其中最普遍的分类为:HVT,SVT,LVT
HVT:High_Voltage Threshold
SVT(又称RVT):Standard/Regular_Voltage Threshold
LVT:Low_Voltage Threshold

对于台积电5nm工艺库,有七种不同类型的晶体管
三种主要类型是uLVT(Ultra LVT),LVT和SVT,这三种类型均具有低泄漏(LL,Low_Leakage)变体,另有一种类型是eLVT(Extremely LVT),速度最快。
在这里插入图片描述

不同Vt间速度和延时,功耗的关系
在这里插入图片描述
由上图可见阈值电压Vt以指数关系影响着漏电功耗。
Vt越高,漏电功耗越低,但门延迟越长,速度越慢;
Vt越低,漏电功耗越高,但门延迟越短,速度越快。
(阈值电压越低,饱和电流越小,速度性能就越高,但是漏电流会增大,导致leakage power增加。)因此:

速度:HVT<SVT<LVT<ULVT
延迟:HVT>SVT>LVT>ULVT
功耗:HVT<SVT<LVT<ULVT

综合工具会把这几种cell库都吃进去,然后根据timing约束,由综合工具在满足timing约束的情况下自动选择使用什么cell,大部分情况下三种cell都会使用,在timing比较吃紧的path上会大量使用LVT cell,timing裕量比较大的地方使用HVT/SVT cell。

一般建议关键路径上用少量 LVT 加 SVT (HVT太慢),普通path上用 SVT 和 HVT,timing 特别松的 path 上多用 HVT(功耗低)。

参考:
理解MOSFET阈值电压
台积电披露5nm详细技术细节及进展

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