TCAD简介

1.简介

TCAD（Technology Computer Aided Design）是指技术计算机辅助设计，是一种在集成电路设计和工艺开发中使用的软件工具集。它结合了半导体物理模型、数值模拟和设备工艺模拟等技术，用于预测和优化集成电路的性能和可靠性。

TCAD的主要功能是提供对半导体器件行为、电流、电压、电场、载流子传输等物理特性的建模和模拟能力，帮助设计人员更好地了解和预测器件行为，优化电路结构、材料选择和工艺参数，以满足特定的性能要求。这有助于减少设计和制造中的实验成本和时间，提高芯片设计的成功率。

TCAD软件广泛应用于集成电路、微电子器件、纳米电子学、光电子器件等领域。

2.数值计算

计算机仿真基于数值计算，tcad中计算基于一系列物理模型和方程。

网格计算是将半导体仿真区域划分为网格，在网格点处计算希望的特性。

网格计算的多种方式划分：1.有网格线及网格间距来描述；2.通过网格释放后面不是很紧要的点来构建更精确的解；3.三角形参数构建网格长宽比；4.适当的区域增删网格线。

3.基于物理计算

器件仿真用到的物理模型：

1.基本半导体方程；

2.载流子统计基本方程

3.不完全电离

4.边界物理

5.物理模型

6.光点子模型

7.磁场下载流子传输模型

8.各向异性介电常数模型

9.单粒子翻转模型