书籍:《炬丰科技-半导体工艺》
文章:SiGe的蚀刻和沉积控制
编号:JFKJ-21-771
作者:炬丰科技
摘要
嵌入式硅锗在最近的技术节点中被应用于互补金属氧化物半导体中,以提高器件性能并实现扩展。本文发现硅锗表面相对于沟道的位置对功率因数校正阈值电压和器件可变性有显著影响。因此,嵌入式硅锗的凹槽蚀刻和沉积必须得到很好的控制。我们展示了器件对填充工艺的敏感性,并描述了用于优化外延控制的前馈和反馈技术。
介绍
在进入制造业的最新CMOS
书籍:《炬丰科技-半导体工艺》
文章:SiGe的蚀刻和沉积控制
编号:JFKJ-21-771
作者:炬丰科技
摘要
嵌入式硅锗在最近的技术节点中被应用于互补金属氧化物半导体中,以提高器件性能并实现扩展。本文发现硅锗表面相对于沟道的位置对功率因数校正阈值电压和器件可变性有显著影响。因此,嵌入式硅锗的凹槽蚀刻和沉积必须得到很好的控制。我们展示了器件对填充工艺的敏感性,并描述了用于优化外延控制的前馈和反馈技术。
介绍
在进入制造业的最新CMOS